Ag膜的特性及金属基宽角宽带高反膜的研究的中期报告.docx
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500~1200nm宽带减反膜的研制的中期报告本项目旨在研制一种波长范围在500~1200nm的宽带减反膜。项目已经进行到中期,以下是中期报告。一、研究进展1.材料筛选根据项目要求,材料应具备高透过率和低反射率等性质。我们筛选了多种有潜力的材料,并通过实验测试发现氧化铝具有很好的透过率和反射率性能。2.制备工艺研究采用物理气相沉积技术制备样品,同时对气体流量、沉积速率等参数进行了优化,以获得最佳的沉积效果。通过调节参数,我们制备出了多种不同结构的样品,并对其进行了光学测试。3.光学性质测试对制备的样品进行