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含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究的中期报告
本研究旨在制备含氦钛膜，并研究其表征及退火行为。本文报告了研究的中期进展。
制备含氦钛膜的方法为磁控溅射，在真空环境下以纯钛靶为材料，在氦气气氛下进行溅射。实验中通过改变溅射时间、氦气流量、溅射功率等参数来优化溅射过程，并获得尽可能均匀、致密的含氦钛膜。经过多次实验调整，我们成功制备了具有一定厚度的含氦钛膜样品。
此外，我们对所制备的含氦钛膜进行了表征，使用了X射线衍射仪、扫描电子显微镜等技术。X射线衍射实验结果显示，所制备的含氦钛膜为多晶结构，晶格常数略微偏离纯钛的晶格常数。扫描电子显微镜观测结果表明，含氦钛膜表面平整、无明显缺陷，内部为致密结构。
接下来，我们将对所制备的含氦钛膜样品进行退火实验，以探究其退火行为。我们计划进行不同温度、不同时间的退火实验，并使用扫描电子显微镜等技术对样品进行表征，分析其微结构和性能变化，以了解其热稳定性和应用潜力。
总的来说，我们已经成功合成了含氦钛膜样品，并对其进行了初步的表征。接下来我们将继续深入研究其退火行为，为我们了解该材料的性能变化提供更多、更详细的信息。