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基于分形的MEMS器件离面位移的测量的中期报告
此中期报告将重点关注基于分形的MEMS器件离面位移的测量。MEMS（微机电系统）是在微米或亚微米尺度上集成和制造的机电系统，通常由一个或多个微机电器件组成，并且可以在不同的应用中用于测量、控制和执行功能。分形是一种几何形状，其形状在不同的尺度上都具有相似性。基于分形的MEMS器件是一种新型的器件，其分形特性可以提高其测量灵敏度和分辨率。
本研究的目的是设计并实现一种能够测量离面位移的基于分形的MEMS器件。首先，我们设计了基于分形的MEMS器件的结构，包括弯曲悬臂和衬底。我们使用ANSYS软件对器件进行了有限元分析，以评估其弯曲特性和应力分布。然后，我们使用微纳加工技术制造了器件，并进行了器件的测试。测试结果表明，该器件具有较高的灵敏度和分辨率，并且能够测量微小的离面位移。
下一步，我们将进一步测试和验证基于分形的MEMS器件的性能，并针对其实际应用场景进行优化。同时，我们还将研究其他基于分形的MEMS器件的设计和制造方法，并探索其在不同领域的应用。