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CMOS兼容的风速传感器和系统电路的设计的中期报告
尊敬的评委们：
我是XXX，本次报告的主要内容是关于CMOS兼容的风速传感器和系统电路的设计的中期报告。
一、研究背景
风速测量在气象、空气质量监测等领域具有广泛的应用。CMOS技术的应用在传感器领域得到了广泛的关注，其具有成本低、集成度高、可靠性好等优点。
二、研究内容
本研究主要通过CMOS技术设计风速传感器和系统电路，实现对风速的测量。
1.风速传感器设计
采用热膜式风速传感器，通过制作热膜在气流中测量风速。传感器结构采用两层建筑，底层为CMOS电路，上层为热膜和保护层。传感器的尺寸为1mm×1mm，热膜的电极由铜和铝构成，热膜的电极厚度为100nm，由于热膜面积很小，所以需要一定的增益放大器。
2.系统电路设计
系统电路主要由增益放大器和模数转换器构成，增益放大器的设计采用差分放大器的结构，以减小共模干扰，同时采用反馈电容网络以提高增益。模数转换器设计采用逐次逼近型模数转换器，利用CMOS工艺能够达到的高分辨率来提高测量精度。
三、目前进展
目前已完成热膜式传感器的加工制备和增益放大器的设计。传感器加工过程中发现了制备工艺上的问题，需要对铜与铝的刻蚀比进行进一步的优化。
四、下一步工作
下一步工作主要是对模数转换器进行设计和优化，并对整个系统进行集成测试，以实现对风速的准确测量。
以上就是本人的中期报告，谢谢评委们的聆听。