一种干式爪型真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108980037A(43)申请公布日2018.12.11(21)申请号201811089637.7F04C29/04(2006.01)(22)申请日2018.09.18(71)申请人深圳市泉天下泵业有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区龙岗街道诚信路二号福昌盛工业园二楼(72)发明人卜学兵林文泉易宇彭勇鲁天玲王龙武韦冬冬刘照理(74)专利代理机构深圳市中科创为专利代理有限公司44384代理人彭西洋苏芳(51)Int.Cl.F04C18/14(2006.01)F04C25/02(2006.01)F04C23/02(2006.01)F04C29/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种干式爪型真空泵(57)摘要本发明公开一种干式爪型真空泵，包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体、主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子腔相连通，所述进气口还接进气管路，所述排气口还与消声器连接，所述进气管路、进气口、转子腔、排气口和消声器形成抽送气体通道，所述抽送气体通道通过磁控溅射的工艺于表面形成WC-DLC超晶格纳米多层防腐涂层。本发明通过上述设计，能够有效阻隔腐蚀性气体对零件表面的腐蚀。CN108980037ACN108980037A权利要求书1/1页1.一种干式爪型真空泵，其特征在于：包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体和安装于泵壳体内的主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述电机通过联轴器与所述主动轴连接，所述同步齿轮用于主动轴与从动轴之间的传动；所述泵壳体前端为齿轮腔，所述同步齿轮、轴承和动密封安装于所述齿轮腔内，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述齿轮腔与所述转子腔通过所述动密封隔离，所述进排气壳体与泵壳体之间的结合面密封，保证转子腔内气体不发生泄漏；所述主动转子于转子腔内安装于主动轴上，所述从动转子于转子腔内安装于所述从动轴上；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子腔相连通，所述进气口还接进气管路，所述排气口还与消声器连接，所述进气管路、进气口、转子腔、排气口和消声器形成抽送气体通道，所述抽送气体通道通过磁控溅射的工艺于表面形成WC-DLC超晶格纳米多层防腐涂层。2.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述电机为永磁同步电机。3.根据权利要求2所述的干式爪型真空泵，其特征在于：该干式爪型真空泵还包括一个驱动器，用于对所述永磁同步电机进行启停控制以及运行工况调节；所述永磁同步电机机壳和驱动器壳体之间采用螺栓连接成一体。4.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述同步齿轮为精密斜齿轮，通过平键与主动轴及从动轴之间进行扭矩传递。5.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述主动转子与主动轴之间通过平键传递扭矩，所述从动转子与从动轴之间通过胀套传递扭矩。6.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述主动转子、从动转子采用由点、圆弧、摆线和直线形成的非对称型线精密啮合结构。7.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述联轴器为柔性联轴器。8.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述进气管路上设有一个过滤器。9.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述泵壳体及进排气壳体上均设有散热片，所述进排气壳体上安装有冷却风机。2CN108980037A说明书1/3页一种干式爪型真空泵技术领域[0001]本发明涉及真空泵设计领域，具体涉及一种干式爪型真空泵。背景技术[0002]随着生物制药、食品、半导体、化工以及薄膜工业的迅速发展，对高真空度、高清洁度生产环境的需求日益迫切，传统高真空度的油扩散泵、油封式机械泵等由于泵内有油，不适于抽送含氧量高、易爆易腐蚀的气体，也不易于产生高清洁度的生产环境；在制药行业负压蒸馏、精馏、升华等工艺过程以及负压蒸发、干燥、浓缩、结晶、脱水、脱色、化学反应吸收及真空输送物料等工艺均要求提供不同真空度、高洁净度的生产环境。传统的往复真空泵、旋片、罗茨等真空泵随着运转部件磨损、检修次数的增加，工作真空度将不断下降，直至满足不了生产的要求。另外用此类泵抽吸水蒸汽等可凝性气体，将使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不凝性气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质，这也就限制了其适用范围。[0003]例如，精细和医药化工是化工领域重点发展的行业之一，但同时也是物质和能源消耗较大、污染较重的行业，排放的废水具有浓度高、腐蚀性、毒性大、难以生物降解等特点，是国内外公认的