一种晶圆测试设备自动精确喷油装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109087875A(43)申请公布日2018.12.25(21)申请号201811008770.5(22)申请日2018.08.31(71)申请人秦皇岛视听机械研究所有限公司地址066000河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号(72)发明人刘红军单宏杨刚郑金宝唐永年李强刘宵婵高今朝(74)专利代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350代理人汤东凤(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)G01R31/26(2014.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种晶圆测试设备自动精确喷油装置(57)摘要本发明公开了一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，该装置包括：精确供油装置和储油罐，精确供油装置用于控制储油罐的供油量，精确供油装置包括设置于壳体内的驱动轴和从动滚轮以及连接软管，从动滚轮在驱动轴的带动下绕驱动轴的轴心作圆周转动并间歇挤压连接软管，使得连接软管内部形成负压，将测试油从供油管抽出并压入出油管，之后流入储油罐，储油罐的一侧端连接高压气管，储油罐的底部接口连接喷嘴，高压气管内的气体输入到储油罐内并推动测试油经喷嘴喷涂到晶圆表面。本发明提供的晶圆测试设备自动精确喷油装置，能够实现晶圆表面测试油的自动化喷涂，具有自动化水平高、控油精确、操作简单、省时省力、节约成本的特点。CN109087875ACN109087875A权利要求书1/1页1.一种晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，包括：精确供油装置(2)和储油罐(4)，所述精确供油装置(2)用于控制所述储油罐(7)的供油量，所述精确供油装置(2)包括设置于壳体内的驱动轴(8)和从动滚轮(9)以及连接软管(10)，所述驱动轴(8)由步进电机驱动，所述连接软管(10)的进口端与供油管(1)相连接，所述从动滚轮(9)与所述驱动轴(8)的周壁固定连接，所述连接软管(10)的出口端穿过所述从动滚轮(9)与所述壳体(11)内侧壁形成的间隙后经过出油管(3)连接所述储油罐(4)的顶部接口，所述从动滚轮(9)在所述驱动轴(8)的带动下绕所述驱动轴(8)的轴心作圆周转动并间歇挤压所述连接软管(10)，使得所述连接软管(10)内部形成负压，将测试油从所述供油管(1)抽出并压入所述出油管(3)，之后流入所述储油罐(4)，所述储油罐(4)的一侧端连接高压气管(5)，所述储油罐(4)的底部接口连接喷嘴(6)，所述高压气管(5)内的气体输入到所述储油罐(4)内并推动测试油经所述喷嘴(6)喷涂到晶圆表面。2.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述连接软管(10)的出口端安装有逆止阀，所述逆止阀用于确保测试油单向流动。3.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述从动滚轮(9)设置为3个，3个所述从动滚轮(9)围绕所述驱动轴(8)的轴心均匀设置在所述驱动轴(8)的周壁，3个所述从动滚轮(9)在所述驱动轴(8)的带动下转动，依次挤压所述连接软管(10)。4.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述壳体(11)上设置有进孔和出孔，所述连接软管(10)的进口端和出口端分别固定设置在所述进孔和出孔。5.根据权利要求1所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括控制器，所述控制器与所述步进电机相连，所述步进电机控制所述步进电机的启停及转速。6.根据权利要求5所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括氮气供应装置，所述高压气管(5)连接所述氮气供应装置，所述高压气管(5)上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器相连接，所述控制器根据设定时间控制所述电磁阀的关闭，所述氮气供应装置中的氮气在所述电磁阀的控制下经所述高压气管(5)输入到所述储油罐(4)内。7.根据权利要求5所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括盛油容器，所述盛油容器通过所述供油管(1)与所述精确供油装置(2)相连接，所述盛油容器内部设置有低液位油量传感器，所述低液位油量传感器与所述控制器相连接，所述控制器通过所述低液位油量传感器监测所述盛油容器内部的油量。8.根据权利要求7所述的晶圆测试设备自动精确喷油装置，其特征在于，所述晶圆测试设备自动精确喷油装置还包括报警器，所述报警器与所述控制器相连接，当所述低液位油量传感器采集的数值达到设定值，所述控制器控制所述报警器发出报警信号。2CN109087875A说明书1/4页一种晶圆测试设备自动精确喷油装置技术领域[0001]本发明涉及二极管晶圆测试技术领域，特别是涉及一种晶圆测试设备自