GaAs自组织量子点异质结构的MOCVD生长及特性研究的开题报告.docx
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大失配InGaAs异质结的MOCVD生长与材料特性研究的开题报告【开题报告】一、选题背景InGaAs是一种性能极优异的宽带隙半导体材料,在光催化、光电子学、光电探测等领域具有广泛应用。而其异质结在半导体器件的应用中也很常见。然而在MOCVD生长InGaAs异质结过程中,容易出现晶格失配等问题,导致材料性能下降。近年来,对于InGaAs异质结的MOCVD生长过程和材料特性的研究引起了广泛关注。二、研究目的本研究的目的是探讨MOCVD生长InGaAs异质结过程中容易出现的晶格失配问题,并且针对控制失配现象,调