一种便于维护的基座.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109326552A(43)申请公布日2019.02.12(21)申请号201811302696.8(22)申请日2018.11.02(71)申请人上海华力微电子有限公司地址201203上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号(72)发明人朱亮柳小敏陈伟(74)专利代理机构上海申新律师事务所31272代理人俞涤炯(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种便于维护的基座(57)摘要本发明提供一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。本发明的有益效果在于无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。CN109326552ACN109326552A权利要求书1/1页1.一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其特征在于，所述基座设置有一长方体的凹陷，所述凹陷底部设置有一截面为圆形的安装通孔，还包括一轮挡和一固定螺栓；所述轮挡形状适配所述凹陷，并被设置于所述凹陷中；所述轮档设置有台阶孔，所述轮档设置于所述凹陷中时所述台阶孔的位置与所述安装通孔对应；所述固定螺栓，穿过所述台阶孔伸入所述安装通孔中，并于设置于所述安装通孔中的一螺母连接固定；所述固定螺栓和所述轮挡之间设有一缓冲装置。2.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述固定螺栓为中空结构，所述中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键。3.如权利要求2所述的便于维护的基座，其特征在于，所述内花键为内六角。4.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔的下半部分设有用于安装所述螺母的凹槽。5.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔的直径小于所述凹槽的长度。6.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔和所述台阶孔的中心位置与所述基座的中心位置处于同一直线上。7.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述缓冲装置为弹簧垫圈。8.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述缓冲装置可装卸地设置在所述固定螺栓和所述轮挡之间。2CN109326552A说明书1/3页一种便于维护的基座技术领域[0001]本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种便于维护的基座。背景技术[0002]目前化学法钨沉积机台(LamWCD机台)的每个工艺腔体有4个基座。然而工艺腔体内的制程处于高温且含氟化物的工作环境中，这种工作环境会导致基座上固定轮挡的陶瓷螺钉和弹性垫圈容易损坏，主要指陶瓷螺钉的顶部容易断裂，从而需要对陶瓷螺钉和弹性垫圈进行更换。[0003]如图1所示，现有技术中基座1内包括陶瓷螺钉6，而且陶瓷螺钉6为实心设计，陶瓷螺钉6与基座1之间设有螺帽3，螺帽3上方设有缓冲装置5，即缓冲装置5位于基座1的安装通孔内，较难拆卸。当陶瓷螺钉6或缓冲装置5损坏需要更换时，因为陶瓷螺钉6较难拆卸和缓冲装置5安装在螺帽3上方，所以需要将整个基座1进行拆卸才能进一步进行更换陶瓷螺钉6或缓冲装置5的操作，更换完之后还要重新安装整个基座1，耗时耗力，极大程度的影响机台的运行时间和运行效果。发明内容[0004]针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种便于维护的基座旨在无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。[0005]具体技术方案如下：[0006]一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；[0007]轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；[0008]轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；[0009]固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；[0010]固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。[0011]优选的，便于维护的基座，其中，固定螺栓为中空结构，中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键。[0012]优选的，便于维护的基座，其中，内花键为内六角。[0013]优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的下半部分设有用于安装螺母的凹槽。[0014]优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的直径小于凹槽的长度。[0015]优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔和台阶孔的