一种平铺式扩散装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109360802A(43)申请公布日2019.02.19(21)申请号201811524523.0(22)申请日2018.12.13(71)申请人杭州海莱德智能科技有限公司地址310051浙江省杭州市滨江区西兴街道滨文路15号2幢A座101室(72)发明人何振杰(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种平铺式扩散装置(57)摘要本发明的一种平铺式扩散装置，包括扩散腔体，扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，第一加热装置设置在传送装置的上方；传送装置由多组滚轮构成，滚轮通过转动以传送硅片在扩散腔体内运动。本发明平铺式扩散装置通过平铺式的多点支撑传动方式，在相同的条件下，可延长硅片表面加热时间和温度，推进掺杂结深，从而提高硅片表面的掺杂质量，提高电池的光电转换效率，适应大尺寸硅片和超薄硅片，降低自动化传输技术难度，满足行业产业化需求。CN109360802ACN109360802A权利要求书1/1页1.一种平铺式扩散装置，其特征在于，包括扩散腔体，所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方；所述传送装置由多组滚轮构成，滚轮通过转动以传送硅片在所述扩散腔体内运动。2.如权利要求1所述的平铺式扩散装置，其特征在于，所述第一加热装置为多组加热灯管，每组加热灯管均对应设置在每组滚轮的正上方。3.如权利要求2所述的平铺式扩散装置，其特征在于，所述扩散腔体内还设置有第二加热装置，所述第二加热装置为多组加热灯管，每组加热灯管均对应设置在相邻的两组滚轮中间。4.如权利要求3所述的平铺式扩散装置，其特征在于，两组滚轮正上方对应设置的两组加热灯管与两组所述滚轮中间的一组加热灯管的中心的连接线呈等边三角形。5.如权利要求4所述的平铺式扩散装置，其特征在于，所述扩散腔体为石英腔体。6.如权利要求5所述的平铺式扩散装置，其特征在于，所述加热灯管为卤素灯管或红外灯管。7.如权利要求1至6任一项所述的平铺式扩散装置，其特征在于，所述扩散腔体内饱和填充有氮气。2CN109360802A说明书1/3页一种平铺式扩散装置技术领域[0001]本发明涉及光伏设备领域，更具体地说，涉及一种平铺式扩散装置。背景技术[0002]太阳能电池片领域中的扩散工序，多采用的是管式扩散装置，该方法具有单管单控、操作灵活等特点，是目前行业的主导技术。伴随着光伏技术的不断进步，硅片尺寸的不断增加，管式扩散装置的石英管管径从180mm发展到目前的330mm，长度从1600mm加长至2600mm。高效电池工艺对掺杂品质的要求越来越高，通过增大管径适应硅片尺寸、增长石英管长度适应行业对产能需求的技术手段所带来的弊端越来越明显。首先是管径增大，温场的截面均匀性变差，从而影响片内掺杂均匀性；立式倾角装载硅片方式，当硅片很薄以后会弯曲、翘曲，从而影响掺杂源的分布均匀性，继面影响片内、片间的掺杂均匀性，同时该方式承载硅片对自动化提出了更高的要求，在产能、碎片率等方面都会遇到无法突破的技术瓶颈。目前行业内存在的平面扩散装置采用金属网带传送方式，该系统由于存在金属污染、无法长时间高温处理掺杂过程，从而造成硅片表面掺杂质量较差而未被行业所认可。发明内容[0003]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种平铺式扩散装置，通过平铺式的多点支撑传动方式，在相同的条件下，可延长硅片表面加热时间和温度，推进掺杂结深，从而提高硅片表面的掺杂质量，提高电池的光电转换效率，适应大尺寸硅片和超薄硅片，降低自动化传输技术难度，满足行业产业化需求。[0004]为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：[0005]一种平铺式扩散装置，包括扩散腔体，所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方；[0006]所述传送装置由多组滚轮构成，滚轮通过转动以传送硅片在所述扩散腔体内运动。[0007]优选的，所述第一加热装置为多组加热灯管，每组加热灯管均对应设置在每组滚轮的正上方。[0008]优选的，所述扩散腔体内还设置有第二加热装置，所述第二加热装置为多组加热灯管，每组加热灯管均对应设置在相邻的两组滚轮中间。[0009]优选的，两组滚轮正上方对应设置的两组加热灯管与两组所述滚轮中间的一组加热灯管的中心的连接线呈等边三角形。[0010]优选的，所述扩散腔体为石英腔体。[0011]优选的，所述加热灯管为卤素灯管或红外灯管。[0012]