高度测量用治具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109382762A(43)申请公布日2019.02.26(21)申请号201810833818.X(22)申请日2018.07.26(30)优先权数据2017-1531692017.08.08JP(71)申请人株式会社迪思科地址日本东京都(72)发明人服部真人(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人于靖帅乔婉(51)Int.Cl.B24B49/00(2012.01)权利要求书1页说明书8页附图6页(54)发明名称高度测量用治具(57)摘要提供高度测量用治具，稳定地实施台面的高度的测量。在加工装置中，在使固定于磨轮安装座的接触式仪表沿着加工工具的旋转轨迹扫描而对保持面或支承面的高度进行测量时使用该高度测量用治具，该加工装置具有：能够旋转的工作台基座，其能够利用该支承面对利用该保持面保持着板状的被加工物的卡盘工作台进行支承；以及主轴，其在前端固定有能够安装该加工工具的该磨轮安装座，其中，该高度测量用治具具有：形成有多个开口部的板；以及从该板突出的多个定位部，该定位部具有将该板定位在相对于该卡盘工作台或该工作台基座的规定的位置的功能，该开口部沿着该旋转轨迹形成，以便在将该板定位在该规定的位置时使该保持面或该支承面的测量对象区域露出。CN109382762ACN109382762A权利要求书1/1页1.一种高度测量用治具，在加工装置中，当使固定于磨轮安装座的接触式仪表沿着加工工具的旋转轨迹扫描而对保持面或支承面的高度进行测量时使用该高度测量用治具，所述加工装置具有：能够旋转的工作台基座，其能够利用所述支承面对卡盘工作台进行支承，该卡盘工作台利用所述保持面对板状的被加工物进行保持；以及主轴，其在前端固定有所述磨轮安装座，该磨轮安装座能够安装对被加工物进行磨削或研磨的所述加工工具，该高度测量用治具的特征在于，具有：形成有多个开口部的板，其覆盖该保持面或该支承面；以及凸状的多个定位部，它们从该板突出，该定位部具有将该板定位在相对于该卡盘工作台或该工作台基座的规定的位置的功能，该开口部沿着该旋转轨迹形成，以便在该板被定位在相对于该卡盘工作台或该工作台基座的该规定的位置时使该保持面或该支承面的测量对象区域露出，该开口部是该接触式仪表能够通过该开口部而与该测量区域接触的大小。2.根据权利要求1所述的高度测量用治具，其特征在于，在对具有该支承面的该工作台基座的该支承面的高度进行测量时使用该高度测量用治具，其中，在该支承面上呈同心圆状形成有多个环状凹部，该板具有覆盖该环状凹部从而防止该测量器的接触式仪表落到该环状凹部的功能。3.根据权利要求1或2所述的高度测量用治具，其特征在于，该多个定位部包含形成在该板的一个面上的多个第1定位部和形成在该板的另一个面上的多个第2定位部，该多个第1定位部分别具有如下的功能：在按照该板的该一个面与该保持面接触的方式将该板定位在相对于该卡盘工作台的规定的位置时，该多个第1定位部分别与该卡盘工作台的侧面接触而抑制该板相对于该卡盘工作台的位置关系的变化，该多个第2定位部分别具有如下的功能：在按照该板的该另一个面与该支承面接触的方式将该板定位在相对于该工作台基座的规定的位置时，该多个第2定位部分别插入至形成于该支承面的凹部而抑制该板相对于该工作台基座的位置关系的变化。2CN109382762A说明书1/8页高度测量用治具技术领域[0001]本发明涉及高度测量用治具，其是在台面的规定的位置对该台面的高度进行测量时所用的治具。背景技术[0002]在从由硅、砷化镓、蓝宝石、玻璃等构成的板状的被加工物形成包含器件在内的器件芯片的工序中，使用对该被加工物进行磨削的磨削装置或对该被加工物进行研磨的研磨装置等各种加工装置。该加工装置具有：对被加工物进行保持的卡盘工作台；以及对该被加工物进行加工的加工单元，利用该加工单元对该卡盘工作台上所保持的该被加工物进行加工。[0003]该卡盘工作台通过工作台基座进行支承。该工作台基座的上表面成为平坦的支承面，将卡盘工作台固定在该支承面上。被加工物在被保持于固定在该工作台基座的支承面上的卡盘工作台上的状态下通过该加工单元进行加工。[0004]该加工单元具有：与该铅垂方向大致平行的主轴；装配在该主轴的下端的磨轮安装座；以及安装在该磨轮安装座的下表面的加工工具。该加工工具例如为在下表面具有磨削磨具的磨削磨轮或在下表面具有研磨垫的研磨磨轮等。[0005]在被加工物的加工时，使该主轴旋转而使该加工工具旋转，并且使该卡盘工作台旋转，使该加工单元向铅垂方向下方移动。当安装在该加工工具的该磨削磨具或研磨垫与该被加工物接触时，该被加工物被加工。[0006]为了实现被加工物的更适当的加工，对工作台基座、卡盘工作台和加工单