半球陀螺谐振子成型工艺研究的任务书.docx
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半球陀螺谐振子成型工艺研究的任务书.docx
半球陀螺谐振子成型工艺研究的任务书任务名称:半球陀螺谐振子成型工艺研究任务背景:半球陀螺谐振子是一种新型动态平衡装置,其基本结构主要由半球形器件和谐振子构成。该装置在机械领域有广泛的应用,如风力发电、机床设备、通讯设备等领域。然而,在生产实践中,半球陀螺谐振子的制造成本较高,生产效率较低,需要优化其成型工艺。任务目标:本任务旨在研究半球陀螺谐振子的成型工艺,提高其生产工艺的效率及降低生产成本。通过对半球陀螺谐振子的材料选择、成型工艺、表面处理等方面的研究,探索最优的成型工艺方案。任务内容:本任务的主要研究
微半球谐振陀螺的结构设计与工艺研究的任务书.docx
微半球谐振陀螺的结构设计与工艺研究的任务书任务书一、选题背景与意义:随着现代精密制造工艺和仪器检测技术的不断发展,微纳机电系统(MEMS)的制造技术和应用领域越来越广泛,陀螺仪作为一种重要的惯性导航器材,在军事、航空、航天、物流等领域具有广泛的应用前景。而微半球谐振陀螺由于能够实现对微小角速度的高精度测量,以及尺寸小、能耗低、成本低等优势,因此在惯性导航领域得到了广泛的应用和研究。二、研究内容和步骤:1.设计微半球谐振陀螺的结构和参数,并进行仿真分析;2.确定微半球谐振陀螺的工艺流程,包括微加工、生长和装
一种变壁厚伞形半球谐振子及半球谐振陀螺.pdf
本发明提出了一种变壁厚伞形半球谐振子及半球谐振陀螺,主要解决现有谐振子电容有效面积较小、抗过载性能较差的问题。该变壁厚伞形半球谐振子包括谐振子壳体和支撑杆;所述支撑杆设置在谐振子壳体内部,且其顶端与谐振子壳体的壳体内壁中心通过光滑曲面连接;所述谐振子壳体的壳体内壁呈半球面形状,壳体外壁为一个回转曲面,使得谐振子壳体的壳体厚度h(θ)随着θ变化,谐振子壳体的壳体厚度h(θ)值随着θ先减小后增大。本发明半球谐振陀螺包括平面电极基板以及上述变壁厚伞形半球谐振子;平面电极基板的中心设置有支撑杆安装孔,支撑杆底端嵌
MEMS射流陀螺的研究与工艺实现的任务书.docx
MEMS射流陀螺的研究与工艺实现的任务书任务名称:MEMS射流陀螺的研究与工艺实现任务描述:MEMS射流陀螺是一种基于微机电系统技术的惯性导航器件,具有体积小、重量轻、功耗低等优势,广泛应用于航空、航天、导航等领域。本任务旨在研究MEMS射流陀螺的工作原理、设计方法和制造工艺,开发出一种稳定、可靠的MEMS射流陀螺。任务目标:1.了解MEMS射流陀螺的基本概念和工作原理;2.研究MEMS射流陀螺的设计方法,完成CAD设计;3.选择适合的MEMS射流陀螺制造工艺,进行工艺实现;4.对制造出的MEMS射流陀螺
一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法.pdf
本发明涉及微机电系统制造技术领域,具体是一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法;所述方法包括将制备完成的谐振结构放入支架下层中;将玻璃结构紧贴所述谐振结构后盖上支架上层,并合拢上下层支架;将合拢后的支架放入真空加热炉中,软化所述玻璃结构;待炉体温度冷却至室温时,取出支架,得到与谐振结构相适应的球面电极结构;本发明球面电极结构的成型精度仅依赖于谐振结构本身,不受微半球陀螺其他工艺条件限制;在精确控制温度场的条件下,由于谐振结构曲面边缘本身存在温度梯度,使得球面结构的成型具有自适应性,即球面结构的曲率半径与谐振