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MEMS湿度传感器的研究的任务书
任务书：
任务名称：MEMS湿度传感器的研究
任务目标：探究MEMS湿度传感器的工作原理，研究制造MEMS湿度传感器的技术方法，设计并制造MEMS湿度传感器原型，测试数据，并对其性能进行优化。
任务步骤：
1.湿度传感器基础知识学习：了解湿度测量的基本概念、分类、应用领域和相关的标准。
2.MEMS湿度传感器原理研究：研究MEMS湿度传感器的工作原理、传感器结构设计、材料和工艺选型等，并分析其优缺点。
3.MEMS湿度传感器制造技术研究：系统了解湿度传感器制造的流程和技术要点，选择适合的制造工艺并实验验证其可行性。
4.MEMS湿度传感器原型制作：根据研究的工作原理、结构设计和制造技术，制作MEMS湿度传感器原型。
5.性能测试与分析：对制作的MEMS湿度传感器进行测试和分析，评估其性能指标。
6.优化改进：基于测试结果，提出MEMS湿度传感器的性能改进方案。
7.结果分析与报告：对研究结果进行归纳、总结和分析，在报告中详细记录MEMS湿度传感器的设计与制作过程、性能测试结果和优化改进建议。
任务期限：3个月
任务成果：MEMS湿度传感器的原型和性能测试报告。