大口径光学元件超精密加工抛光机床.pdf
一吃****永贺
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大口径光学镜面超精密加工集成平台.pdf
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气囊抛光加工大口径光学元件的边缘精度控制方法.pdf
气囊抛光加工大口径光学元件的边缘精度控制方法,涉及一种气囊抛光元件加工过程中控制边缘精度的方法,属于光学加工领域。解决现有光学元件加工过程中为解决的“边缘效应”而造成破坏主面精度的风险大、成本高和效率低的问题。获取待加工元件对应材料的边缘区域去除函数;建立待加工元件边缘区域去除函数库;根据抛光路径的间隙m和抛光气囊的压缩量fi计算待加工元件边缘区域的宽度;提取相应的去除函数;设定边缘区域去除函数的驻留时间tn;对待加工元件进行边缘区域的误差轮廓预测计算,获得待加工元件边缘区域的面形误差;评估面形误差;获取
光学元件精密加工中的磁流变抛光技术工艺参数.docx
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大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法.pdf
大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法,涉及一种大口径平面光学元件。提供一种大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法。采用数控抛光机床,设有抛光盘、抛光垫、真空薄膜、工件旋转轴、修整轮、修整轮轴和工作横移轴。选择加工方式,设定加工参数,利用空间坐标变换和傅立叶级数计算工件相对抛光盘速度的步骤;利用压强分布表面模型计算工件横移过程中的压强分布,对工件一个横移加工周期进行线性切割,结合普林斯顿公式得到工件不同半径上点的材料去除率的步骤;计算工件上不同半径上点露出抛光盘和落入不同压强区域的几率,