华夫孔自动清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110116106A(43)申请公布日2019.08.13(21)申请号201910271322.2(22)申请日2019.04.04(71)申请人深圳市华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人吴林荣(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.B08B1/04(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称华夫孔自动清洗装置(57)摘要一种华夫孔自动清洗装置，包括：控制系统、清洗刷以及清洗桶；其中，所述控制系统还包括一根主轴，所述控制系统通过主轴与所述清洗刷相连，用于控制所述清洗刷的运动；所述清洗刷设置在所述主轴上，所述控制系统的下方；所述清洗桶内盛装清洗液，但不直接与所述控制系统相连；有益效果：与现有技术相比，本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括控制系统、清洗刷以及清洗桶，所述清洗刷通过一根主轴与所述控制系统相连，由所述控制系统控制所述清洗刷上、下、左、右移动以及旋转运动，以进行清洗，同时，所述清洗桶上装有滚轮，所述清洗桶在所述控制系统的控制下进行运动，对华夫孔进行自动清洗，改善了人力清洗华夫孔难以及不安全等的现状。CN110116106ACN110116106A权利要求书1/1页1.一种华夫孔自动清洗装置，其特征在于，包括：控制系统、清洗刷以及清洗桶；其中，所述控制系统还包括一根主轴，所述控制系统通过主轴与所述清洗刷相连，用于控制所述清洗刷的运动；所述清洗刷设置在所述主轴上，所述控制系统的下方；所述清洗桶内盛装清洗液，所述清洗桶由所述控制系统控制。2.根据权利要求1所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述控制系统可控制所述清洗刷沿X轴平移、Y轴平移以及Y轴旋转运动。3.根据权利要求1所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述控制系统内还包括：电机、信号输入单元、信号处理单元以及信号输出单元。4.根据权利要求1所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述清洗桶包括：桶身、桶盖、滚轮以及红外感应器。5.根据权利要求4所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述滚轮的数量至少为3个。6.根据权利要求5所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述滚轮可滑动或是旋转运动。7.根据权利要求4所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述桶盖与所述桶身之间通过转轴连接。8.根据权利要求5所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述转轴连接为水平转轴连接或是竖直转轴连接。9.根据权利要求1所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述清洗刷与所述主轴可拆卸连接。10.根据权利要求9所述的华夫孔自动清洗装置，其特征在于，所述清洗刷的宽度等于所述华夫孔的宽度，小于所述清洗桶的宽度；所述清洗刷的高度大于所述华夫孔的高度，小于所述清洗桶的高度。2CN110116106A说明书1/4页华夫孔自动清洗装置技术领域[0001]本申请涉及集成电路厂房领域，特别是涉及一种华夫孔自动清洗装置。背景技术[0002]目前世界范围内，各超大规模的集成电路产业不断发展，对洁净厂房的净化级别要求不断提高，为满足厂房洁净等级要求及温湿度要求，现阶段的洁净厂房一般采用华夫板，利用华夫板及回风夹道的循环且通过空调送排风系统来控制洁净厂房级别在需求范围内。华夫板上有大量定型排列的华夫孔(FRP)，可提供厂房核心区域(二层)与辅助层(一层)的管路联络以及作为洁净空调的通风道，将上层区域的颗粒物通过风机过滤机组(FFU，fanfilterunits)华夫桶排到辅助层。[0003]洁净厂房建设初步建设完成后，需要对华夫孔进行清洁，使厂房洁净度达标，避免华夫孔中的施工残留颗粒影响产品良率。目前清洁方式为人员手动对华夫孔一个接一个进行清洁。由于华夫孔排布密集，数量众多，人员清洗费时费力，且孔洞深度深，人员手动清洗时有坠落的安全风险。[0004]因此，现有的华夫板清洗技术中，还存在着华夫孔排布密集，数量众多，人力清洗难以及不安全等问题，急需改进。发明内容[0005]本申请涉及一种华夫孔自动清洗装置，用于解决现有技术中存在的华夫孔排布密集，数量众多，人力清洗难以及不安全等问题。[0006]为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：[0007]本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括：控制系统、清洗刷以及清洗桶；其中，[0008]所述控制系统还包括一根主轴，所述控制系统通过主轴与所述清洗刷相连，用于控制所述清洗刷的运动；[0009]所述清洗刷设置在所述主轴上，所述控制系统的下方；[0010]所述清洗桶内盛装清洗液，所述清洗桶由所述控制系统控制。[0011]根据本申请提供的