保持器单元.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110385643A(43)申请公布日2019.10.29(21)申请号201910297041.4(22)申请日2019.04.12(30)优先权数据2018-0816802018.04.20JP(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本国大阪府(72)发明人小笠原规幸平栗阳辅椙山敦(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人肖茂深(51)Int.Cl.B24B37/32(2012.01)B24B37/34(2012.01)权利要求书1页说明书12页附图9页(54)发明名称保持器单元(57)摘要本发明提供一种提高被划刻加工的被加工物的品质的保持器单元。保持器单元(100)具备：保持器(110)；支承于保持器(110)的销(200)；以及支承于销(200)的划刻轮(120)。划刻轮(120)包括供销(200)插入的第二插入孔(121)。决定第二插入孔(121)的划刻轮(120)的轮内周面(122)由高耐磨损材料形成。轮内周面(122)的算术平均粗糙度(Ra)为0.01μm以下。销(200)包括销主体、以及保护销主体的外周面的保护层(220)。保护层(220)包括相对于轮内周面(122)的耐磨损性高的多个高耐磨损粒子。CN110385643ACN110385643A权利要求书1/1页1.一种保持器单元，其具备：保持器；销，其支承于所述保持器；以及划刻轮，其支承于所述销，所述划刻轮包括供所述销插入的插入孔，决定所述插入孔的所述划刻轮的内周面由高耐磨损材料形成，所述内周面的算术平均粗糙度Ra为0.01μm以下，所述销包括销主体以及保护所述销主体的外周面的保护层，所述保护层包括相对于所述内周面的耐磨损性高的多个高耐磨损粒子。2.根据权利要求1所述的保持器单元，其中，所述高耐磨损材料包括金刚石、立方晶氮化碳、蓝丝黛尔石、超硬纳米管以及立方晶氮化硼中的至少一方。3.根据权利要求1或2所述的保持器单元，其中，所述多个高耐磨损粒子包括金刚石的粒子、立方晶氮化碳的粒子、蓝丝黛尔石的粒子、超硬纳米管的粒子以及立方晶氮化硼的粒子中的至少一方。4.根据权利要求1至3中任一项所述的保持器单元，其中，所述高耐磨损粒子为磨粒。5.根据权利要求1至4中任一项所述的保持器单元，其中，所述保护层包括将所述高耐磨损粒子结合于所述销主体的外周面的结合剂的层，所述高耐磨损粒子包括位于所述结合剂的层的内部的粒子覆盖部以及从所述结合剂的层的表面突出的粒子突出部。6.根据权利要求5所述的保持器单元，其中，所述粒子突出部的前端为平面。7.根据权利要求5或6所述的保持器单元，其中，所述结合剂为镍。8.根据权利要求1至7中任一项所述的保持器单元，其中，所述划刻轮是金刚石烧结体。9.根据权利要求1至8中任一项所述的保持器单元，其中，沿所述插入孔的中心轴心的方向上的所述插入孔的中间部的直径比沿所述插入孔的中心轴心的方向上的所述插入孔的端部的直径窄。10.根据权利要求9所述的保持器单元，其中，在与沿所述插入孔的中心轴心的方向平行、且穿过所述插入孔的中心轴心的所述划刻轮的剖面中，所述内周面的形状为鼓形状。2CN110385643A说明书1/12页保持器单元技术领域[0001]本发明涉及用于划刻加工的保持器单元。背景技术[0002]在对脆性材料基板等被加工物形成刻划线时使用划刻装置。划刻装置具备保持器单元。保持器单元具备划刻加工被加工物的划刻轮。在划刻加工中，在划刻轮被按压到被加工物的表面的状态下被加工物与划刻轮相对地移动，从而在被加工物上形成刻划线。需要说明的是，举出了专利文献1来作为现有的划刻装置的一例。[0003]现有技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1：日本特开2017-119348号公报[0006]在通过现有的划刻装置对被加工物进行划刻加工的情况下，有时随着刻划线的形成而在被加工物上产生的沿被加工物的厚度方向的裂缝即垂直裂缝的形成状态的品质会降低。作为品质较低的情况的例子，举出了裂缝的深度在每个刻划线的部位不同的形成状态。对此，认为与划刻加工时的划刻轮的旋转不稳定有关。发明内容[0007]用于解决课题的技术方案[0008](1)本发明的保持器单元具备：保持器；销，其支承于所述保持器；以及划刻轮，其支承于所述销，所述划刻轮包括供所述销插入的插入孔，决定所述插入孔的所述划刻轮的内周面由高耐磨损材料形成，所述内周面的算术平均粗糙度Ra为0.01μm以下，所述销包括销主体以及保护所述销主体的外周面的保护层，所述保护层包括相对于所述内周面的耐磨损性高的多个高耐磨损粒子。[0009]划刻加工时的划刻轮的旋转状态对随着划刻加工而形成于被加工物的裂缝的形成状态造成影响。作为用于提高