表面除尘设备及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110508564A(43)申请公布日2019.11.29(21)申请号201910842323.8(22)申请日2019.09.06(71)申请人深圳市凯中精密技术股份有限公司地址518118广东省深圳市坪山区龙田街道规划四路1号(72)发明人周方邓贵兵张万里(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250代理人张乐乐(51)Int.Cl.B08B7/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称表面除尘设备及其使用方法(57)摘要本发明提供了一种表面除尘设备及其使用方法，包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构，传动机构用于带动基片的移动；除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件；每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组；升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件，升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本发明提供的表面除尘设备及其使用方法，通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附，达到较好的除尘效果，升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触，达到延长胶轮组单次寿命的目的，延长整个表面除尘设备的使用时间，避免停机时间过于频繁。CN110508564ACN110508564A权利要求书1/2页1.表面除尘设备，其特征在于：包括传动机构(1)，用于带动基片(5)的移动；除尘辊组机构(2)，包括分别位于所述传动机构(1)的相对两侧的两个粘尘组件(21)；每一所述粘尘组件(21)均包括至少两个胶轮组(211)；以及升降机构(3)，包括驱动所述胶轮组(211)升降的若干升降件(31)，所述升降件(31)驱动位于同侧的所述胶轮组(211)依次间隔与所述基片(5)相抵接。2.如权利要求1所述的表面除尘设备，其特征在于：所述胶轮组(211)包括胶轮(2111)和粘尘纸滚轮(2112)，所述胶轮(2111)位于靠近所述传动机构(1)的一侧，且每一所述胶轮(2111)的外表面与所述粘尘纸滚轮(2112)的外表面相切。3.如权利要求2所述的表面除尘设备，其特征在于：所述除尘辊组机构(2)还包括用于固定所述胶轮组(211)的两端的限位侧板(22)和连接两侧的所述限位侧板(22)的连接板(23)，所述限位侧板(22)与所述胶轮(2111)固定连接。4.如权利要求3所述的表面除尘设备，其特征在于：所述限位侧板(22)上开设有供所述粘尘纸滚轮(2112)滑动的滑槽(221)。5.如权利要求4所述的表面除尘设备，其特征在于：所述滑槽(221)内还穿设有阻挡所述粘尘纸滚轮(2112)的限位挡栓(222)。6.如权利要求3所述的表面除尘设备，其特征在于：所述限位侧板(22)远离所述粘尘组件(21)的一侧设有移动把手(223)。7.如权利要求3所述的表面除尘设备，其特征在于：所述传动机构(1)包括设于所述除尘辊组机构(2)一侧的传动轴(11)，所述传动轴(11)的两端与所述限位侧板(22)固定连接，且所述传动轴(11)上套设有滚动轴承(12)。8.如权利要求2所述的表面除尘设备，其特征在于：所述除尘辊组机构(2)还包括分别驱动位于所述传动机构(1)两侧的所述胶轮组(211)转动的两个驱动组件(24)。9.如权利要求8所述的表面除尘设备，其特征在于：所述驱动组件(24)包括驱动件(241)、设于所述驱动件(241)的输出轴轴端的主动轮(242)以及设于所述胶轮(2111)的端部的从动轮(243)，所述主动轮(242)和所述从动轮(243)通过链条(244)相连接。10.如权利要求9所述的表面除尘设备，其特征在于：所述驱动组件(24)还包括用于张紧所述链条(244)的张紧轮(245)。11.如权利要求1至10任一项所述的表面除尘设备，其特征在于：还包括固定面板(4)，所述除尘辊组机构(2)滑动连接于所述固定面板(4)的底部。12.如权利要求11所述的表面除尘设备，其特征在于：所述固定面板(4)的下表面设有锁紧块(41)，所述除尘辊组机构(2)的两侧设有与所述锁紧件配合的直线导轨(25)。13.如权利要求1至10任一项所述的表面除尘设备，其特征在于：所述升降件(31)的数量与所述胶轮(2111)的数量一致，且每一所述升降件(31)均与所述胶轮(2111)通过升降杆(32)固定连接。14.采用如权利要求1至13任一项所述的表面除尘设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：所述基片(5)经传动机构(1)移动至两个所述粘尘组件(21)之间，且位于基片(5)两侧的粘尘组件(21)同时与所述基片(5)移动接触，并带动所述基片(5)的移动，所述升降机构2CN110508564A权利要求书2/2页(3)驱动所述胶轮组(211)依次间隔与所