一种掠角沉积设备及其样品台.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110616410A(43)申请公布日2019.12.27(21)申请号201810637258.0(22)申请日2018.06.20(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址215123江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号(72)发明人朱煜茹占强宋盛星宋贺伦殷志珍张耀辉(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304代理人孙伟峰(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/54(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种掠角沉积设备及其样品台(57)摘要本发明公开了一种样品台，包括固定装置、冷却装置、加热装置，旋转装置以及样品托盘。所述冷却装置和所述加热装置同时固定于所述固定装置上，所述冷却装置设置于所述加热装置的中间，所述旋转装置包括旋转罩，所述样品托盘固定在所述旋转罩开口处；本发明还公开了一种掠角沉积设备，包括转动臂、主动齿轮和所述样品台，样品台一端与所述转动臂连接。本发明的样品台实现了在实验过程中不改变样品位置进行原位加热和冷却，使得高真空和超高真空薄膜沉积系统中的通用设备上的实验对温度调控范围更广，实验结果更为精确有效。CN110616410ACN110616410A权利要求书1/1页1.一种样品台，其特征在于，包括一端用于连接工艺设备的固定装置(1)、冷却装置(2)、加热装置(3)，旋转装置(4)以及外表面用于放置样品的样品托盘(5)，所述旋转装置(4)包括旋转罩(41)，所述样品托盘(5)固定在所述旋转罩(41)开口处与旋转罩(41)形成容纳空间，所述冷却装置(2)和所述加热装置(3)至少局部位于所述容纳空间内且同时固定于所述固定装置(1)上，所述冷却装置(2)与所述样品托盘(5)内表面抵接。2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述固定装置(1)包括一端用于连接工艺设备的固定套管(11)、从动齿轮盘(12)、转动轴承(13)和固定盘(14)，所述固定盘(14)连接在所述固定套管(11)的另一端，所述从动齿轮盘(12)通过所述转动轴承(13)与所述固定套管(11)配合连接。3.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述冷却装置(2)包括冷却腔体(21)、导管(22)、第一支撑杆(23)和低温传导铜辫(24)，所述冷却腔体(21)设置在所述固定盘(14)的下方，所述第一支撑杆(23)一端与所述冷却腔体(21)相对固定，另一端与所述固定盘(14)相对固定，所述低温传导铜辫(24)固定在所述冷却腔体(21)底部并与所述样品托盘(5)内表面抵接，所述导管(22)一端与所述冷却腔体(21)连通，另一端与冷却液供给设备连接。4.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述加热装置(3)包括隔热罩固定板(31)、加热器(32)、隔热罩(33)和第二支撑杆(34)，所述隔热罩固定板(31)位于所述固定盘(14)下方，所述第二支撑杆(34)一端与所述隔热罩固定板(31)相对固定，另一端与所述固定盘(14)相对固定，所述隔热罩(33)位于所述隔热罩固定板(31)和所述加热器(32)之间并与所述隔热罩固定板(31)相对固定。5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述隔热罩固定板(31)、加热器(32)和隔热罩(33)均为环形，所述冷却装置(2)位于所述加热装置(3)中间。6.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述低温传导铜辫(24)数目为多个，且截面形状为U型，所有的所述低温传导铜辫(24)关于样品台中心轴环形阵列分布。7.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述旋转装置(4)还包括第三支撑杆(42)，所述第三支撑杆(42)一端与所述旋转罩(41)相对固定，另一端与所述从动齿轮盘(12)相对固定。8.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述加热器(32)包括热阻丝(321)、第四支撑杆(322)和至少两个固定片(323)，所述第四支撑杆(322)设置于所述隔热罩固定板(31)和所述固定片(323)之间，一端与所述隔热罩固定板(31)相对固定，另一端与所述固定片(323)相对固定，所述热阻丝(321)设置在所述两个固定片(323)的上表面并关于所述两个固定片(323)的中部连接线对称。9.一种掠角沉积设备，其特征在于，包括转动臂、主动齿轮和权利要求2-8任一所述的样品台，所述固定套管(11)一端与所述转动臂连接，所述主动齿轮与所述从动齿轮盘(12)啮合。2CN110616410A说明书1/4页一种掠角沉积设备及其样品台技术领域[0001]本发明涉及一种高真空或超高真空薄膜沉积设备系统，更具体的说，涉及一种掠角沉积设备及其样品台。背景技术[0002]高真空