振动机构及槽式清洗机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110918545A(43)申请公布日2020.03.27(21)申请号201911128069.1(22)申请日2019.11.18(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人林欣家滕宇赵曾男(74)专利代理机构北京思创毕升专利事务所11218代理人孙向民廉莉莉(51)Int.Cl.B08B3/04(2006.01)B08B3/08(2006.01)B08B3/10(2006.01)B08B13/00(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称振动机构及槽式清洗机(57)摘要本发明公开了振动机构及槽式清洗机。该振动机构包括依次连接的电机组件、轴承组件、凸轮组件、直线运动组件和振动臂组件，所述电机组件、所述轴承组件和所述振动臂组件均安装在所述直线运动组件上，所述凸轮组件安装在所述轴承组件上，所述电机组件输出动力，所述轴承组件将所述电机组件输出的动力传递给所述凸轮组件以驱动所述凸轮组件旋转，所述直线运动组件包括凸轮随动器，所述凸轮随动器置于所述凸轮组件上表面并在凸轮组件驱动下进行往复直线运动，进而带动振动臂组件振动。该振动机构整体结构紧凑占用空间小，此外组件功能划分清晰、连接关系简单，便于安装维护和调试。CN110918545ACN110918545A权利要求书1/1页1.一种振动机构，其特征在于，包括依次连接的电机组件、轴承组件、凸轮组件、直线运动组件和振动臂组件，所述电机组件、所述轴承组件和所述振动臂组件均安装在所述直线运动组件上，所述凸轮组件安装在所述轴承组件上，所述电机组件输出动力，所述轴承组件将所述电机组件输出的动力传递给所述凸轮组件以驱动所述凸轮组件旋转，所述直线运动组件包括凸轮随动器，所述凸轮随动器置于所述凸轮组件上表面并在凸轮组件驱动下进行往复直线运动，进而带动振动臂组件振动。2.根据权利要求1所述的振动机构，其特征在于，所述电机组件包括电机、减速机、电机座、联轴器，所述电机与所述减速机连接，所述减速机与所述电机座连接，所述电机座安装在所述直线运动组件上，所述联轴器抱紧所述减速机的输出轴；所述电机和所述减速机位于所述电机座下方，所述减速机的输出轴穿过所述电机座的孔伸到所述电机座上方，所述联轴器位于所述电机座上方，所述电机座的侧面安装在所述直线运动组件上。3.根据权利要求2所述的振动机构，其特征在于，所述减速机是直角减速机。4.根据权利要求1所述的振动机构，其特征在于，所述轴承组件包括轴承盖、轴、轴承、轴承座、连接轴，所述轴承套在所述轴上，所述连接轴与所述轴连接并从下方紧压所述轴承，所述轴承座具有孔，所述轴承套、所述轴和所述连接轴被置于所述轴承座的孔中，所述轴承座的侧面安装在所述直线运动组件上，所述轴承盖从上方紧压所述轴承，所述连接轴与所述电机组件连接。5.根据权利要求5所述的振动机构，其特征在于，所述轴承组件还包括传感器，所述传感器安装在所述轴承座上，在感应到触发源时发出到位信号。6.根据权利要求1所述的振动机构，其特征在于，所述凸轮组件包括凸轮，所述凸轮与所述轴承组件连接，在所述轴承组件的驱动下转动。7.根据权利要求6所述的振动机构，其特征还在于，所述凸轮组件还包括触发源，所述触发源连接在所述凸轮上并与所述凸轮同步转动，当所述触发源旋转至传感器附近时触发所述传感器，使所述传感器发出到位信号。8.根据权利要求1所述的振动机构，其特征在于，所述直线运动组件包括直线导轨、底板、移动板，所述直线导轨安装在所述底板上，所述移动板连接在所述直线导轨的滑块上，所述凸轮随动器安装在所述移动板上，随着所述凸轮组件转动，所述凸轮随动器上下运动，并带动所述移动板沿所述直线导轨做往复直线运动。9.根据权利要求1所述的振动机构，其特征在于，所述振动臂组件包括连接臂、振动臂和托盘，所述连接臂安装在所述直线运动组件上，所述振动臂的一端连接于所述连接臂，另一端连接于托盘，所述托盘用于承载物料，所述直线运动组件带动所述连接臂、所述振动臂和所述托盘同步做往复直线运动。10.一种槽式清洗机，其特征在于，包括湿区、干区、升降门、机械手、安装板和如权利要求1-9中任意一者所述的振动机构，所述湿区内设有清洗槽，所述升降门隔离所述湿区和所述干区，所述机械手在所述槽式清洗机内传递物料，所述安装板位于所述清洗槽一侧，所述振动机构的所述直线运动组件安装在所述安装板上，所述振动臂组件伸入所述清洗槽。2CN110918545A说明书1/6页振动机构及槽式清洗机技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种振动机构及包括该振动机构的槽式清洗机。背景技术