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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111511504A(43)申请公布日2020.08.07(21)申请号201880082498.7(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司1(22)申请日2018.11.261002代理人张晶刘言(30)优先权数据2018-0081102018.01.22JP(51)Int.Cl.B24B55/02(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B24B27/06(2006.01)2020.06.19B28D5/04(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据B28D7/02(2006.01)PCT/JP2018/0433152018.11.26H01L21/304(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/142494JA2019.07.25(71)申请人信越半导体株式会社地址日本东京都(72)发明人北川幸司丰田史朗权利要求书1页说明书8页附图2页(54)发明名称工件切断方法及线锯(57)摘要本发明提供一种工件切断方法,其通过线锯进行,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列,通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边将工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中,将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上,当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时,将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上,其中,所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。由此,提供一种工件切断方法及线锯,其在从金属线列拉出切断后的工件时,抑制金属线卡住工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。CN111511504ACN111511504A权利要求书1/1页1.一种工件切断方法,其通过线锯进行,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列,通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边将工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中,将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上,当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时,将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上,其中,所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。2.根据权利要求1所述的工件切断方法,其特征在于,使用在25℃下黏度为5mPas以下的冷却剂作为所述工件切断用冷却剂,使用25℃下黏度为15mPas以上的冷却剂作为所述工件拉出用冷却剂。3.根据权利要求1或2所述的工件切断方法,其特征在于,使用水分的含量为99质量%以上的冷却剂作为所述工件切断用冷却剂,使用水分的含量为90质量%以下的冷却剂作为所述工件拉出用冷却剂。4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件切断方法,其特征在于,作为所述工件,对直径为300mm以上的工件进行切断。5.一种线锯,其具备:金属线列,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成;工件进给机构,一边保持工件一边将其推抵至所述金属线列;以及冷却剂供给机构,向所述金属线列上供给冷却剂,通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边从所述冷却剂供给机构向所述金属线列供给冷却剂,并且通过所述工件进给机构对工件进行切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,所述冷却剂供给机构在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中,将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上,当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时,将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上,其中,所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。2CN111511504A说明书1/8页工件切断方法及线锯技术领域[0001]本发明涉及一种工件切断方法及线锯。背景技术[0002]目前,作为从例如硅锭或化合物半导体锭等的工件切出晶圆的装置,已知有线锯。在该线锯中,通过将多个切断用金属线卷绕于多个滚轮的周围而形成金属线列,使该切断用金属线在轴向高速驱动,且一边适当地供给浆料或冷却液,一边使工件相对于金属线列切入进给,使得该工件在各金属线位置被同时切断(例如参考专利文献1)。[0003]在此,图3表示现有的一般线锯的一例的概要。如图3所示,线锯101主要由如下部件构成:用于切断工件W的金属线102(高张力钢线)、将金属线102卷绕于多个带沟滚轮103及带沟滚轮103’而形成的金属线列104、用于对金属线102赋予张力的机构105及机构105’、将被切断的工件W向下