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山东大学硕士学位论文 PAGEIV 目录 TOC\o"1-3"\h\zHYPERLINK\l"_Toc135972746"摘要 PAGEREF_Toc135972746\hI HYPERLINK\l"_Toc135972747"ABSTRACT PAGEREF_Toc135972747\hIII HYPERLINK\l"_Toc135972748"第一章绪论 PAGEREF_Toc135972748\h1 HYPERLINK\l"_Toc135972749"1.1选题的意义 PAGEREF_Toc135972749\h1 HYPERLINK\l"_Toc135972750"1.2耐磨涂层的制备技术 PAGEREF_Toc135972750\h2 HYPERLINK\l"_Toc135972751"1.2.1化学气相沉积 PAGEREF_Toc135972751\h2 HYPERLINK\l"_Toc135972752"1.2.2物理气相沉积 PAGEREF_Toc135972752\h2 HYPERLINK\l"_Toc135972753"1.3耐磨涂层的发展现状 PAGEREF_Toc135972753\h5 HYPERLINK\l"_Toc135972754"1.3.1硬涂层 PAGEREF_Toc135972754\h5 HYPERLINK\l"_Toc135972755"1.3.2软涂层 PAGEREF_Toc135972755\h7 HYPERLINK\l"_Toc135972756"1.3.3硬软复合涂层 PAGEREF_Toc135972756\h9 HYPERLINK\l"_Toc135972757"1.4耐磨涂层的作用机理和影响因素 PAGEREF_Toc135972757\h9 HYPERLINK\l"_Toc135972758"1.4.1刀具磨损的原因 PAGEREF_Toc135972758\h9 HYPERLINK\l"_Toc135972759"1.4.2耐磨涂层的作用机理 PAGEREF_Toc135972759\h9 HYPERLINK\l"_Toc135972760"1.4.3影响涂层刀具性能的因素 PAGEREF_Toc135972760\h10 HYPERLINK\l"_Toc135972761"1.5本课题的背景和由来 PAGEREF_Toc135972761\h11 HYPERLINK\l"_Toc135972762"1.6本课题的研究内容 PAGEREF_Toc135972762\h11 HYPERLINK\l"_Toc135972763"第二章实验方法及原理 PAGEREF_Toc135972763\h13 HYPERLINK\l"_Toc135972764"2.1磁控溅射离子镀原理与设备 PAGEREF_Toc135972764\h13 HYPERLINK\l"_Toc135972765"2.1.1磁控溅射离子镀原理 PAGEREF_Toc135972765\h13 HYPERLINK\l"_Toc135972766"2.1.2磁控溅射离子镀偏置基体的伏安特性 PAGEREF_Toc135972766\h13 HYPERLINK\l"_Toc135972767"2.1.3封闭场非平衡磁控溅射离子镀设备 PAGEREF_Toc135972767\h15 HYPERLINK\l"_Toc135972768"2.2涂层试样的制备 PAGEREF_Toc135972768\h16 HYPERLINK\l"_Toc135972769"2.2.1基体材料的选取与基体预处理 PAGEREF_Toc135972769\h16 HYPERLINK\l"_Toc135972770"2.2.2涂层沉积工艺设计 PAGEREF_Toc135972770\h16 HYPERLINK\l"_Toc135972771"2.3涂层性能测试 PAGEREF_Toc135972771\h19 HYPERLINK\l"_Toc135972772"2.3.1涂层厚度的测量 PAGEREF_Toc135972772\h19 HYPERLINK\l"_Toc135972773"2.3.2涂层硬度的测试 PAGEREF_Toc135972773\h19 HYPERLINK\l"