飞秒激光微加工的同步监测装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111992871A(43)申请公布日2020.11.27(21)申请号201911091781.9(22)申请日2019.11.08(71)申请人济南金威刻科技发展有限公司地址250101山东省济南市高新区孙村工业区春晖路与科嘉路向西800米(72)发明人蒋习锋王明利(51)Int.Cl.B23K26/00(2014.01)B23K26/70(2014.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称飞秒激光微加工的同步监测装置(57)摘要本发明公开了飞秒激光微加工的同步监测装置，属于飞秒激光微加工的监测领域。飞秒激光微加工的同步监测装置，包括调节底座，所述调节底座上设置有加工件，所述调节底座位于飞秒激光器一侧，所述调节底座上固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机驱动端固定连接有第一驱动轴，所述第一驱动轴上固定连接有第一齿轮盘，所述加工件位于第一齿轮盘中心处，所述调节底座上通过转轴转动连接有传动齿轮；本发明通过监测用的CCD与加工件始终处于垂直状态，同时为了确保监测用的CCD准确对准加工件的加工位置，保持进行倾斜入射加工时的监测效果和垂直入射加工的监测效果相同，自动调整一气呵成，进行自动精确调整，确保了监测效果。CN111992871ACN111992871A权利要求书1/2页1.飞秒激光微加工的同步监测装置，包括调节底座(1)，所述调节底座(1)上设置有加工件(11)，所述调节底座(1)位于飞秒激光器(9)一侧，其特征在于，所述调节底座(1)上固定连接有第一驱动电机(2)，所述第一驱动电机(2)驱动端固定连接有第一驱动轴(3)，所述第一驱动轴(3)上固定连接有第一齿轮盘(10)，所述加工件(11)位于第一齿轮盘(10)中心处，所述调节底座(1)上通过转轴(5)转动连接有传动齿轮(4)，所述调节底座(1)上通过第二驱动轴(7)连接有第二齿轮盘(6)，所述第一齿轮盘(10)和第二齿轮盘(6)均与所述的传动齿轮(4)啮合，所述第二齿轮盘(6)上通过第一驱动机构滑动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)上固定连接有底板(12)，所述底板(12)上通过第二驱动机构滑动连接有第二滑杆(14)，所述第二滑杆(14)上端安装有监测用的CCD(22)，所述第一齿轮盘(10)和第二齿轮盘(6)的直径相同，其中在进行加工时，使得加工件(11)的加工点位于第一齿轮盘(10)的中心处，当所述第一驱动电机(2)带动所述的第一齿轮盘(10)旋转A度时：所述第一驱动机构驱动所述的第一滑杆(8)的距离为Δa：Δa＝a＝c*sinA；所述第二驱动机构驱动所述的第二滑杆(14)的距离为Δb：Δb＝c-bsinB＝c-bsin(90°-A)；其中，c为第一齿轮盘(10)中心到第二齿轮盘(6)中心距离；a为第二齿轮盘(6)中心到第一滑杆(8)与监测用的CCD(22)交点处位置；b为第一齿轮盘(10)中心到第一滑杆(8)与监测用的CCD(22)交点处位置。2.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括固定在第二齿轮盘(6)上的第二驱动电机(25)，所述第二驱动电机(25)驱动端固定连接有第一驱动齿轮(26)，所述第一滑杆(8)底侧固定连接有与第一驱动齿轮(26)啮合的第一齿条(27)。3.根据权利要求2所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一滑杆(8)底侧固定连接有滑条(23)，所述第二齿轮盘(6)上开设有与滑条(23)匹配的第一滑槽(24)，所述第一齿条(27)固定连接在滑条(23)上。4.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括固定在第二滑杆(14)上的第三驱动电机(28)，所述第三驱动电机(28)驱动端固定连接有第二驱动齿轮(29)，所述底板(12)上固定连接有与第二驱动齿轮(29)啮合的第二齿条(30)。5.根据权利要求4所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述底板(12)上开设有供第二滑杆(14)滑动第二滑槽(13)。6.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第二滑杆(14)上滑动连接有第一调节板(17)，所述第一调节板(17)上固定连接有第二调节板(21)，所述第二调节板(21)上滑动连接有调节块(19)，所述监测用的CCD(22)连接在调节块(19)上。7.根据权利要求6所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述调节块(19)上铰接有用于夹紧所述监测用的CCD(22)的夹紧套(20)。2CN111992871A权利要求书2/2页8.根据权利要求6所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一调节板(17)底侧固