真空镀膜机的原理及故障分析.pdf

第22卷第2期光电子技术Vo1．22NO．2
2002年6月OPTOEIECTR0NICTECHN0I0GYJun．2002

矿。。
设备与维修
ct＼l
真空镀膜机的原理及故障分析

陈敏王存华

(南京电子器件研究所，南京，210016)

2002年4月3日收到

摘要真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备，本文就
DMF一700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析，并给出故障排查的方
法。
关键词真空镀膜高压电源维修
中图分类号：TN305．8文献标识码：A
文章编号：1005—488X(2OO2)02—0114—05

ThePrincipleandMalfunctionAnalysis
ofVacuumCoatingEquipment

ChenMinWangCunhua
(NanjingElectronicDevicesInstitute，Nanjing，210016)

AbstractVacuumcoatingequipmentiswidelyusedinthemanufacturingandresearchofcompo—

nentsinelectronicsindustry．Themainmalfunctions，whichoccurredintheactualoperationofDMF一700

electronbeamcoatingequipment，areanalyzedinthepaper．Methodsoftrouble—shootingarealsopre—

sentedhere．

Keywordsvacuumcoating，highvoltagesource，maintain

率，也为今后改进设备提供依据。本文主要就
引言DMF一700这类镀膜机的原理和出现的故障进行分
析。
真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制
过程中广泛使用的设备。随着电子工业的发展，工1设备简介
艺要求也越来越高，真空镀膜设备的自动化程度和
复杂程度也在不断提高。对设备出现的故障进行分DMF一700镀膜机是复杂的大型真空镀膜设
析，有利于缩短设备的维修时间，同时对类似设备备，它是在DMDE一450和DMI一500镀膜机基础上
出现的故障也能提供帮助，从而提高科研生产的效改进的。它带有磁偏转270。电子枪，可蒸镀各种高

陈敏女，1957年生，工程师。1982年毕业于鞍山钢铁学院自动化系，现从事专用设备电气设计和维修。
王存华男，l965年生，工程师。l986年毕业于电子科技大学(原成都电讯工程学院)精密机械专业，现从事专用设
备的设计、维修。

第2期陈敏等：真空镀膜机的原理及故障分析

低熔点的金属和氧化物材料。电子枪工作中因某种原因产生高压打火现象
DMF一700镀膜机由真空系统、机械转动系统、时，在打火瞬间，高压近似被短路，电子枪就不能正
电子束蒸发系统等组成。其中电子束蒸发系统主要常工作，由于自动复位电路的作用，会在40ms内
由纵向扫描单元、横向扫描单元，坩锅控制、电子枪切断高压输出，又在50ms后恢复高压输出，这个
灯丝变压整流单元、灯丝控制单元、电子枪高压电瞬变的过程即是自动复位的过程，它是保证电子枪
源等部分组成，图1是其示意图。下面对其主要部连续正常工作的必要条件。
分作一简单介绍。

图2高压电源方框图

Fig．2Block—diagramofhighvoltagesource

图1DMF一700镀膜机方框图
Fig．1Block—diagramofDMF一700coatingmachine3主要故障现象分析及排除

1．电子枪高压电源：是三相变压器整流滤波电在实际使用中，该类型的设备出现过不少故
路，提供电子枪所需的直流高压，输出正端通过复障，其中高压电源部分的故障较多，也比较复杂，下
位装置接地，负端接电子枪灯丝。面就几种典型的故障进行分析。
2．灯丝控制单元：是特殊的交流可控硅整流
器，可以用来提供E型磁偏转电子枪的灯丝电流。3．1增加束流时，高压没有指示
3．纵向扫描单元：可以提供对称的三角波扫描
在正常工作时，主开关电路中的开关管处于饱
信号，与稳定度较高的恒流电源的偏转单元配合，
和导通状态，管压降保持在100V左右，栅极得到
提供E型磁偏转电子枪的电子束所需的扫描电
正偏压5OV，高压指示6kV(或10kV)。从检测电
流，以达到电子束的扫描控制。
路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压
4．横向扫描单元：可以提供对称的三角波扫描
管击穿导通，BG14、BG15、BG16处于截止状态，而
信号，提供E型磁偏转电子枪的电子束所需的扫
BG11、BG12、BG13处于导通状态，由BGl1输出
描电流，以达