电容屏Sensor对比.ppt
天马****23
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电容屏Sensor基础知识.docx
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电容屏Sensor制造流程工艺说明书.doc
工程顺序:BM→‚SPTITO→ƒEtchITO→„X轴架桥(EOC光阻)→…SPTMo-Al-Mo→†EtchMo-Al-Mo→‡保护层(EOC光阻)以下是各工程制程细部解说:第一道工程是BM(BlackMatrix),制造触控屏的遮光框及后续工程的对位记号。此工程需在黄光微影制程下生产。设备名称制程名称功能说明Loader投片机玻璃入料投入SiO2玻璃基板。UVCleaner紫外线洗净利用紫外线生成臭氧分解基板上的有机物。药洗机药液清洁利用碱性药液KOH或清洁剂分解基板上的无机物,也可清洗有机物残骸
电容屏Sensor制造流程工艺说明书.doc
工程顺序:BM→‚SPTITO→ƒEtchITO→„X轴架桥(EOC光阻)→…SPTMo-Al-Mo→†EtchMo-Al-Mo→‡保护层(EOC光阻)以下是各工程制程细部解说:第一道工程是BM(BlackMatrix),制造触控屏的遮光框及后续工程的对位记号。此工程需在黄光微影制程下生产。设备名称制程名称功能说明Loader投片机玻璃入料投入SiO2玻璃基板。UVCleaner紫外线洗净利用紫外线生成臭氧分解基板上的有机物。药洗机药液清洁利用碱性药液KOH或清洁剂分解基板上的无机物,也可清洗有机物残骸
电容屏Sensor制造流程工艺说明书.doc
工程顺序:BM→‚SPTITO→ƒEtchITO→„X轴架桥(EOC光阻)→…SPTMo-Al-Mo→†EtchMo-Al-Mo→‡保护层(EOC光阻)以下是各工程制程细部解说:第一道工程是BM(BlackMatrix),制造触控屏的遮光框及后续工程的对位记号。此工程需在黄光微影制程下生产。设备名称制程名称功能说明Loader投片机玻璃入料投入SiO2玻璃基板。UVCleaner紫外线洗净利用紫外线生成臭氧分解基板上的有机物。药洗机药液清洁利用碱性药液KOH或清洁剂分解基板上的无机物,也可清洗有机物残骸