

一种驱动装置及具有其的研磨设备.pdf
小长****6淑
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一种驱动装置及具有其的研磨设备.pdf
本发明涉及阀门密封面加工设备技术领域,具体涉及一种驱动装置及具有其的研磨设备。一种驱动装置,包括:驱动轴;转盘,内设内齿轮,内齿轮啮合设置有第一外齿轮和第二外齿轮,且第一外齿轮固定设置;从动轴,与第二外齿轮固定连接,且与驱动轴偏心设置,在驱动轴带动转盘转动时,转盘对第二外齿轮施加使其自转的第一作用力和偏心转动的第二作用力,并在第一外齿轮作用下通过内齿轮施加给第二外齿轮与自转方向相反的第三作用力,且第三作用力和第一作用力大小相等。本发明提供的一种驱动装置,将带动从动轴自转的作用力抵消,使得从动轴只做偏心转动
研磨抛光装置及具有其的研磨抛光机床.pdf
本申请公开了一种研磨抛光装置及具有其的研磨抛光机床。研磨抛光装置包括定位部件、磨抛头以及抱紧部件。定位部件包括定位座和定位套,定位套固定安装在定位座上,且定位套的轴线方向与待磨抛的工件的表面垂直;磨抛头包括支撑部、驱动部、丝杆组件、导向杆以及磨抛盘;抱紧部件包括驱动机构和抱紧机构,驱动机构安装在定位座上,抱紧机构设置于定位套上并与驱动机构连接,抱紧机构具有将导向杆抱紧固定于定位套内的锁定位置和避让开导向杆以使导向杆可沿定位套的轴线方向往复运动的解锁位置,驱动机构用于驱动抱紧机构在锁定位置和解锁位置之间切换
驱动装置和具有其的空气调节设备.pdf
本发明公开了一种驱动装置和具有其的空气调节设备,所述驱动装置包括驱动单元,驱动单元包括:驱动器、第一咬合件、第二咬合件、驱动轮和弹性复位件,驱动器包括转动丝杆和止挡件,第一咬合件螺纹套接于转动丝杆,当转动丝杆相对第一咬合件正转时,第一咬合件沿着从头端到根端的方向移动且由止挡件限制移动的极限位置;第二咬合件和第一咬合件沿转动丝杆的轴向彼此相对的表面适于咬合;驱动轮与第二咬合件传动连接;弹性复位件设于驱动轮与第二咬合件之间,在第二咬合件非堵转时,使第二咬合件与第一咬合件压紧咬合,而在转动丝杆正转且第二咬合件堵
一种切换传动形式的半轴装置及具有其的动力驱动设备.pdf
本发明涉及动力切换产品领域,具体涉及一种切换传动形式的半轴装置及其动力驱动设备;其包括:传动轴,设于所述传动轴上第一卡盘,所述第一卡盘的外端面通过止推套接有定位件,其外侧还接有传动轮;所述传动轴轴面上还设有控制件,所述传动轴末端套接有第二卡盘,所述第二卡盘与第一卡盘相互配合,所述第二卡盘覆盖在定位件和控制件之外;所述第二卡盘的外侧套设有卡盘弹簧,所述卡盘弹簧的另一端接有末端壳体,所述末端壳体内侧接有末端轴承,所述末端轴承套设在卡盘弹簧的外表面;所述末端壳体的外端面覆盖有操纵机构,该操纵机构接有操纵压杆;本
半导体制备装置和具有其的化学机械研磨设备.pdf
该发明公开了一种半导体制备装置和具有其的化学机械研磨设备,所述半导体制备装置包括容纳部,所述容纳部适于放置晶圆,非光学物体侦测装置,以用于侦测所述容纳部内是否设有晶圆,所述非光学物体侦测装置设在所述容纳部上,且所述非光学物体侦测装置与晶圆位于所述容纳部内时的晶圆所在位置对应设置。根据本发明实施例的半导体制备装置,在对容纳部内的晶圆进行侦测时,晶圆的表面不会形成氧化铜,避免了由于光电反应造成的氧化铜残留问题,从而有利于晶圆的WAT和CP检测,提高晶圆良率。