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Etalon激光跟踪干涉仪介绍.pdf

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力丰制造科技有限公司 TheLaserTRACER– 以亚微米精度 进行校准和检定 Z公司概况 ZTheLaserTRACER ZTRAC-CAL作误差图和补偿 ZTRAC-CHECK作精度检定 Z当前发展 Z我们的客户 力丰制造科技有限公司 Etalon公司概况 NationalMetrologyInstitute OfGermany 力丰制造科技有限公司 Etalons的业务伙伴: 力丰制造科技有限公司 西门子给予机床 的空间补偿系统 (VCS) ZEtalon软件可以直接生成西门子Sinumerik控制器的空间补偿数据 Z以ETALON技术生成的补偿数据都经Siemens在各种设备测试验证 Z于2008年四月Etalon成为Siemens方案伙伴 力丰制造科技有限公司 Etalon成为蔡 斯在三坐标测 量仪补偿的业务 伙伴 Z蔡斯利用Etalon技术为其不同的产品系列作校准 Z蔡斯作为客户和服务提供者认证Etalon格式 Z蔡斯和Etalon合作进一步开发Etalon技术 力丰制造科技有限公司 法拉克海德汉 和其他机床控制器生产厂家的深入合作 力丰制造科技有限公司 三坐标测量机和机床的精度 Z对三坐标测量机和机床精度是一项关键指标 Z没有数字补偿,最高的精度无法经济地达到 Z正当完整的误差补偿已成功应用于三坐标测量机15年了,机床领域现在也已开 始使用 Z传统的误差图方法耗费时间并要求操纵者具多年的经验 力丰制造科技有限公司 首先搞清楚21项项是那误差是那些误差；因为测量机都 直角坐标机床的几何偏差 是气浮的，按照气浮的误差产生种类分为转动误差 和平动误差，按照不同的旋转轴向和平动方向每轴 共有6项误差，三轴共18项，加上三轴的垂直度共 计21项 VDI2617-3标识 来源:PTB 机械误差力丰制造科技有限公司 力丰制造科技有限公司 ETALON方案 LaserTRACER 补偿检定 TRAC‐CAL®TRAC‐CHECK® TRAC‐CAL 误差图和补偿检测与标定 力丰制造科技有限公司 TheLTRACERLaserTRACER Z干涉仪具0,001微米分辨率(1) Z拥有专利的标准球(2具形状偏差<0,050微米 Z针对气温,气压和湿度的环境补偿 长度测量不确定度:U=0.2µm+0.3µm/m 力丰制造科技有限公司 规格 重量和尺寸 LaserTRACER重量approx.12公斤 控制器重量approx.10公斤 LaserTRACER高度200毫米 操作范围 仰轴角度范围‐20°至+85° 旋转轴角度范围±200° 测量范围0.2米upto15米 精度 24小时激光频率稳定度2∙10‐8 标准球稳定度±0.1微米 干涉仪分辨率0,001微米 不确定度(k=2)0.2微米+0.3微米/米 力丰制造科技有限公司 ETALON方案 补偿 LaserTRACER 检定 TRAC‐CAL®TRAC‐CHECK® TRAC‐CAL 误差图和补偿检测与标定 力丰制造科技有限公司 原理: “全球定位系统原理” 作机器校准 Z仅基于长度数据的完全长度数据的完全误差评定差评定 Z利用干涉原理的长度测量在4-6个不同位置进行 ZLaserTRACER的位置和盲点不必清楚 力丰制造科技有限公司 TRAC-CAL模拟动画片 力丰制造科技有限公司 TRAC-CAL短片 力丰制造科技有限公司 立式加工中心:校正前后对比 力丰制造科技有限公司 卧式铣床:校正前后对比 力丰制造科技有限公司 高精度三坐标测量机经 TRAC-CAL校正后用垂直球板 测量复核 ƒ测量测头偏置150毫米 ƒ偏差<0.4微米 ƒ偏差小于球板的校准不确定度! 力丰制造科技有限公司 与传统激光跟踪仪的接口 就最高精度的要求而言,Etalon由于其独 特的技术会是首选. 对轴行程达数米的设备,传统激光跟踪仪 是能满足的. Etalon赋予它的软件方案与传统激光跟踪 仪的接口. Z徕卡 Z法如 力丰制造科技有限公司 精度比较 LaserTRACERvsLasertracker 力丰制造科技有限公司 以TRAC-CAL作误差图总结 Z最高的精度 Z定位,直线度,仰角,偏转,翻转,垂直度:全部基于稳定化的激光波长 Z适合三坐标测量机和数控机床的误差图确定 Z可用于任何工作体积 Z快速(三坐标测量机3-4小时,机床2-3小时) Z简单的准备简单的准备和数据处数据处理 Z包含以蒙地卡罗方法作的不确定度计算 Z多种数控系统和三坐标机接口和误差图格式供使用 (library扩展中) 力丰制造科技有限公司 应用范例 力