超声波换能器及超声波检查装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107710787A(43)申请公布日2018.02.16(21)申请号201680038034.7(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限(22)申请日2016.05.16公司11243代理人金鲜英陈彦(30)优先权数据2015-1105302015.05.29JP(51)Int.Cl.H04R19/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日A61B8/00(2006.01)2017.12.27G01N29/06(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据G01N29/24(2006.01)PCT/JP2016/0644402016.05.16H04R1/40(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/194591JA2016.12.08(71)申请人株式会社日立制作所地址日本东京都(72)发明人町田俊太郎峰利之藤崎耕司竹崎泰一龙崎大介权利要求书3页说明书17页附图17页(54)发明名称超声波换能器及超声波检查装置(57)摘要在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。CN107710787ACN107710787A权利要求书1/3页1.一种超声波换能器，包括：单元阵列区域，其形成有多个单元；以及周边区域，其与所述单元阵列区域相邻接，所述多个单元各自具有：基板；第一电极，其形成于所述基板上；第一绝缘膜，其形成于所述第一电极上；空洞部，其形成于所述第一绝缘膜上，且在俯视时与所述第一电极重叠；第二绝缘膜，其形成于所述空洞部上；第二电极，其形成于所述第二绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；第三绝缘膜，其形成于所述第二电极上；梁结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；以及第四绝缘膜，其覆盖所述梁结构体，且形成于所述第三绝缘膜上，在所述周边区域形成有：所述第三绝缘膜；多个图案结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，相当于所述梁结构体；以及所述第四绝缘膜，其覆盖所述多个图案结构体。2.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，利用所述梁结构体和所述多个图案结构体各自在所述第三绝缘膜上形成有凸形。3.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，所述梁结构体是用厚度/宽度表示的纵横比在构成所述多个单元各自的构成要素中最大的构成要素。4.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体的配置图案的至少一部分与多个所述梁结构体的配置图案相同。5.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，在所述周边区域形成有：第一配线，其与所述第一电极电连接；第一插头，其与所述第一配线电连接；第二配线，其与所述第二电极电连接；以及第二插头，其与所述第二配线电连接。6.根据权利要求5所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体配置于在俯视时与所述第一插头和所述第二插头不重叠的位置。7.根据权利要求5所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体的一部分在俯视时配置于与所述第一配线重叠的位置。8.根据权利要求5所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体的一部分配置于在俯视时与所述第二配线重叠的位置。9.根据权利要求5所述的超声波换能器，其中，所述周边区域包括：第一引出区域，其形成有所述第一配线和所述第一插头；2CN107710787A权利要求书2/3页第二引出区域，其形成有所述第二配线和所述第二插头；第一外缘区域，其是所述第一引出区域的外侧区域；以及第二外缘区域，其是所述第二引出区域的外侧区域。10.根据权利要求9所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体配置于所述第一外缘区域。11.根据权利要求9所述的超声波换能器，其中，所述多个图案结构体配置于所述第二外缘区域。12.根据权利要求9所述的超声波换能器，所述多个图案结构体配置于所述第一外缘区域和所述第二外缘区域。13.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，在所述基板的厚度方向上，在所述多个图案结构体中的一部分图案结构体与所述基板之间仅夹有绝缘膜。14.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，在所述周边区域形成有虚设单元和所述多个图案结构体，所述虚设单元至少包括所