激光外差干涉测长与测振学习教案.pptx

会计学引言：单频激光干涉仪的光强信号及光电转换器件输出的电信号都是直流量，直流漂移是影响测量准确度的重要原因，信号处理及细分都比较困难。
为了(wèile)提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术。
概念：光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。
特点：克服单频干涉仪的漂移问题；
细分变得容易；
提高了抗干扰性能。3§5-5激光外差干涉(gānshè)测试技术激光外差干涉(gānshè)测试技术（一）激光外差干涉测试技术(jìshù)原理
②激光外差干涉仪的光源（一）激光外差干涉测试技术原理(yuánlǐ)
②激光外差干涉仪的光源主要(zhǔyào)内容双频激光器1发出(fāchū)双频激光束光束返回后重新通过偏振分束镜10与v1的返回光会合，经反射镜11及透光轴与纸面成450的检偏器12后也形成“拍”，其拍频信号(xìnhào)可表示为计算机工作(gōngzuò)优点(yōudiǎn)：二、双频激光外差干涉(gānshè)的应用双频激光器1发出(fāchū)的双频激光束双角锥棱镜组安故在被测物体上，当它在导轨上平移且没有摆动时，两支光路的多普勒频移△v1=△v2，会合(huìhé)后经检偏振器产生拍频，并在拍频中互相抵消，计算机无多普勒频移值出现。(二)双频激光(jīguāng)干涉仪测量直线度(以线量表示)（1）若双面反射镜沿z轴平移到A点，由于v1和v2所走的光程相等，所以△v1=△v2，拍频互相抵消(dǐxiāo)，计算机显示器无多普勒频移显示。(三)双频激光干涉(gānshè)用于同轴度的精密测量原因(yuányīn)1．双频激光(jīguāng)同轴度干涉仪SJD3T方案(fāngàn)与HP5528主要区别结论(jiélùn)2．SJD3T对激光(jīguāng)频差稳定性的要求DISA系统(xìtǒng)与NASA系统(xìtǒng)的不同之处（六）激光外差表面(biǎomiàn)微观轮廓仪He—Ne激光器发出(fāchū)的光束这两支光束在检偏振器P4后产生拍频信号v1-v2±∆v=∆v0±∆v，∆v与被测表面(biǎomiàn)的微观高低起伏有关(七)具有光程(ɡuānɡchénɡ)锁定的激光外差测振仪(八)绝对长度(chángdù)(距离)干涉计量(无导轨测长)三、条纹(tiáowén)小数重合法原理四、红外双线氦氖激光绝对(juéduì)干涉测长系统2.红外拍波干涉仪