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液晶显示器用材料特性简介

----李星

第一篇ITO导电玻璃简介

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上

一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还

会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向

盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还

要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一

般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都

会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。

在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到

的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，

更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀

刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层

则会出现微晶沟缝。

ITO导电层的特性：
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，

氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电

玻璃。

由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学

反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。

ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳

的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。

ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶

界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度

以下会随着温度的升高，电阻也增大。

ITO导电玻璃的分类：

ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃

（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般

用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗

干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。

ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有

2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm

以下的主要用于STN液晶显示器产品。

ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

影响ITO玻璃性能的主要参数：

长度、宽度、厚度及允差（±0.20）

垂直度（≤0.10%）

翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

微观波纹度

微观波纹度(表面形貌仪测量)
厚度(mm)
抛光面镀膜面

1.10≤0.05μm/20mm≤0.10μm/20mm

0.70≤0.08μm/20mm≤0.13μm/20mm

0.55≤0.10μm/20mm≤0.20μm/20mm

0.40≤0.15μm/20mm≤0.25μm/20mm

倒边
C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm）

R倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm）

倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）

SIO2阻挡层厚度（350埃±50埃，550nm透过率≥90%）

ITO层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：

600C37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）：见表1-1。

表1-1

透过率
膜厚方块电阻蚀刻时间
（波长550nm）

150A±30A≥90%≤180Ω/口<30s

150A±30A≥88%≤200Ω/口<30s

200A±50A≥87%≤150Ω/口<30s

250A±50A≥87%≤100Ω/口<30s

300A±50A≥87%≤80Ω/口<35s

350A±50A≥85%≤60Ω/口<60s

400A±50A≥83%≤50Ω/口<60s

450A±50A≥83%≤45Ω/口<60s
500A±100A≥82%≤40Ω/口<60s

700A±100A≥81%≤30Ω/口<100s

900A±100A≥80%≤20Ω/口<120s

1250A±200A≥85%≤17Ω/口<150s

1500A±200A≥86%≤15Ω/口<200s

2000A±250A≥80%≤10Ω/口<250s

化学稳定性：

耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后，ITO层方块电阻变化

值不超过10%。

耐酸为浸入250C、浓度为