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失效分析破坏成分分析.ppt

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破坏成分分析破坏成分分析原因分析方法简述表面分析-俄歇光谱仪表面分析-俄歇光谱仪2．光电子化学分析仪(简称ESCA)一般的光电子化学分析仪入射光是用X光，因此通常所指的光电子化学分析仪即X光电子分析仪表面分析-光电子化学分析仪次表面分析-电子微探分析仪次表面分析-电子微探分析仪次表面分析-电子微探分析仪各种次表面分析工具比较本体成分分析-湿法分析本体成分分析-湿法分析本体成分分析-湿法分析湿法化学分析小结四、总结