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一种具有应力释放的MEMS加速度计传感器敏感结构.pdf
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一种具有应力释放的MEMS加速度计传感器敏感结构.pdf
本发明公开了一种具有应力释放的MEMS加速度计传感器敏感结构，采用四周支撑结构支撑整个可动结构，并在四周支撑结构上下两侧中心和左右两侧中心放置应力释放梁和应力释放梁固定锚区。应力释放梁弯曲刚度远小于四周支撑结构的框架刚度，传感器所处温度变化时，由于材料热膨胀系数失配产生的热应力可通过应力释放梁释放，可显著降低中心敏感结构上所受的热应力，提高传感器输出特性的温度稳定性。
2023-08-12
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一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构.pdf
本发明涉及一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构，采用四周支撑结构支撑整个可动结构，并在四周支撑结构上下两侧中心和左右两侧中心放置应力释放梁和应力释放梁固定锚区。应力释放梁弯曲刚度远小于四周支撑结构的框架刚度，可显著降低四周支撑结构内的中心敏感结构上在环境温度变化过程中所受的热应力，提高传感器输出特性的温度稳定性。四周支撑框架可是两侧质量块运动过程中的产生弹性力相互抵消，从而极大幅度的降低了整个可动结构的支撑锚区所受弹性力，显著降低了锚区疲劳损耗，提高了传感器的可靠性。
2023-08-12
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本发明涉及一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计，包括由上至下按序层叠设置的上方硅帽层、平面结构层及下方硅衬底层，所述平面结构层包括沿Z轴运动的质量块及至少分布在质量块一侧的检测电极，所述质量块与检测电极构成一对平行板电容；在所述质量块同一层结构上设置有不敏感输入加速度的结构，通过结构与两个检测电极分别构成两组应力检测电容，以实现对封装应力的测量；并通过两组应力检测电容构成一对差分电容，其输出的电容差分变化量为ΔC
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2023-08-12
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