二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施简易版.pdf

二氯二氢硅的物化性和危
害及防范措施简易版

ASpecificMeasureToSolveACertainProblem,TheProcessIncludesDeterminingTheProblemObject
AndInfluenceScope,AnalyzingTheProblem,CostPlanning,AndFinallyImplementing.

编订：XXXXXXXX
20XX年XX月XX日
专业实施方案/Professionalimplementationplan编号:EW/OF-VN800
二氯二氢硅的物化性和危害及防范

措施简易版

温馨提示：本解决方案文件应用在对某一问题，或行业提出的一个解决问题的具体措施，过程
包含确定问题对象和影响范围，分析问题，提出解决问题的办法和建议，成本规划和可行性分
析，最后执行。文档下载完成后可以直接编辑，请根据自己的需求进行套用。
1.别名·英文名

二氯硅烷；DichIorosilane．

2.用途：

电子气、外延、化学气相淀积。

3.制法：

(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯

化氢反应。(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反

应，再精馏提纯。

二、理化性质

分子量：101.010熔点：-122.0℃、沸

点(101.325kPa)：8.2℃、液体密度(0℃，

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101.325kPa)：1220kg/m、气体密度(25℃，

101.325kPa)：4.168kg/m、相对密度(气体，

空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·、比容

(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m/kg、气液

容积比(15℃，100kPa)290L/L、临界温度：

176.0℃、临界压力：4676kPa、临界密

度：463kg/m3

、气化热(8.4℃，101.325kPa)：

249.kJ/kg、比热容(25℃，气体)：

Cp=611.27J/(kg·K)、蒸气压(-20℃)：

31.4kPa、(0℃)：81.1kPa

、(20℃)：167.2kPa、粘度(气体，

20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s

、表面张力(20℃)：11.9mN/m、空气中可

燃范围(20℃，101.325kPa)：4.1%～98.8%(体

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积)、自燃点：100.0℃

二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息

气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃，

100℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧

化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐

酸、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会

自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水

水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于

苯、醚和四氯化碳。与碱、乙醇、丙酮起反

应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生

激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合

物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。

三、毒性

有毒气体范围：>0.25ppm、嗅觉浓

度：～1ppm、刺激性浓度：～10ppm、最

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高容许浓度：0.5ppm(2mg/m)

二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中

的水解产物氯化氢引起的。因此，人吸入后激

烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉

挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼

伤。接触皮肤可引起化学烧伤。液态二氯硅烷

也可引起冷烧伤。

四、安全防护

可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾

危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体

用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室

外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和

热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用

氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所

有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延

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长停产时间时，应把二氯硅烷放出来，充入干

燥的惰性气体。

有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极

强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍

钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、

金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、

黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯

聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但

是在二氯硅烷可能燃烧的地方避