X射线测厚仪示值误差测量结果的不确定度.doc

X射线测厚仪示值误差测量结果的不确定度分析
测量方法
X射线测厚仪的示值误差是用标准厚度板进行检定的。
数学模型
X射线测厚仪的示值误差：

式中：——仪器的示值
——标准厚度板的实际厚度。
方差和灵敏系数

灵敏系数为：；。
令，分别表示，的标准不确定度，则

标准不确定度一览表
表1
标准不确定度分量
不确定度来源标准不确定度值
测量重复性0.710.7标准厚度板H＜5mm时：0.4
H≥5mm时：1.9-1H＜5mm时：0.4
H≥5mm时：1.9注：表中H未标准板的实际厚度，mm。
计算标准不确定度分量
5.1、、测量重复性引起的不确定度分量
X射线测厚仪的测量重复性引起的不确定度可以通过二两得到测量列，用A类方法进行评定。
选择9.998mm标准厚度板，连续测量10次，得到测量列（mm）9.995、9.996、9.996、9.997、9.996、9.995、9.996、9.995、9.997、9.996.。
=9.996mm
实验标准差：
另选取0.200mm和19.800mm的标准厚度板，各在重复性条件下连续测量10次，每组测量列按上述方法计算得到单次实验标准差如表2所示。

表2
标准厚度板厚度（mm）0.2009.99819.800单次试验标准差0.80.70.7
合并样本标准差为：

则

5.2、标准厚度板引起的不确定度分量
标准厚度板引起的不确定度来源于标准厚度板的厚度测量结果的不确定度，可根据证书给出的不确定度，采用B类方法进行评定。
标准厚度板的实际厚度H＜5mm时，厚度测量结果的不确定度为1.0，包含因子为2.6，则

标准厚度板的实际厚度H≥5mm时，厚度测量结果的不确定度为5.0，包含因子为2.6，则

合成标准不确定度
H＜5mm时：
H≥5mm时：
扩展不确定度
H＜5mm时，取置信因子，则

H≥5mm时，取置信因子，则

测量不确定度报告
通过上述测量不确定度评定可知，扩展不确定度有标准不确定度和测量重复性有关，其置信因子为，其值见表3

表3
标准厚度板厚度
（mm）扩展不确定度
0.2001.69.9984.019.8004.0