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机械2004年第31卷第3期·55· 激光切割及其在切割陶瓷材料中的应用 邓英剑 (湖南冶金职业技术学院机械系,湖南株州412000) 摘要:激光是一种理想的切割热源,本文简述了激光切割的工作原理、特点及其在切割陶瓷材料中的应用,并讨论了激 光切割工艺参数及其对切割质量的影响。 关键词:激光切割;特点;工艺参数;陶瓷;影响因素 中图分类号:TG506文献标识码:A文章编号:1006-0316(2004)03-0055-04 Thelaserincisesanditsapplicationincuttingtheceramics DENGYING-jian (HunanMetallurgicalProfessionalTechnologyCollege,zhuzhou412000,China) Abstract:Thelaserisakindoftheperfectlyhotsourceforincising,Thistextbrieflyintroducetheworkprincipleand characteristicsoflaserincisinganditsapplicationincuttingceramics,andthetechnicalparametersofthelaserincisingandits influencesthequantityarediscussed. Keywords:laserincises;Characteristics;technicalparameters;ceramic;influencefactors 激光是一种通过入射光子的激发使处于亚稳烧蚀或达到燃点,同时借与光束同轴的高速气流 态的较高能级的原子、离子或分子跃迁到低能级(即具有一定压力的辅助气体,常用气体有N2、 时完成受激辐射所发出的光,它与引起这种受激O2、空气等,其主要作用是:在熔化切割时,依 辐射的入射光在相位、波长、频率和传播方向等靠喷吹气体的压力把液态金属吹走形成切口;在 几方面完全一致,因此激光除具有一般光源的共氧气切割中,气体与切割金属反应放热,提供部 性之外,还具有亮度高、方向性好、单色性好和分切割能量,同时又靠气体吹除反应物),吹除熔 相干性好四大特性。由于激光的单色性好和具有融物质,从而实现工件割开的一种热切割方法。 很小的发散角,因此在理论上可聚焦到尺寸与光其工作原理示意图如图1所示。 波波长相近的小斑点上,其焦点处的功率密度可反射镜 达107W/cm2~1011W/cm2,温度可高至上万摄氏激光器 度,它是一种理想的切割热源,能使任何坚硬的激光束 材料如硬质合金、陶瓷、金刚石等,都将在瞬时 -3 (<10s)被局部熔化和蒸发,并通过所产生的强烈透镜 辅助气体 冲击波被喷发出去。因此,我们可以利用激光对 喷嘴移动方向 各种材料进行切割等加工。 喷嘴 1激光切割的原理、类型及特点 切割面 被割材料 1.1激光切割的原理 激光切割系利用经聚焦的高功率密度激光束图1激光切割原理图 照射工件,使被照射处的材料迅即熔化、汽化、 收稿日期:2003-11-25 作者简介:邓英剑(1969-),女,高讲,研究生在读,原在工厂从事机械设计与制造工作,目前主要从事机电专业教学与研究,公开发表论 文10多篇. ·56·机械2004年第31卷第3期 1.2激光切割的类型寸精度与形位精度,低的表面粗糙度的零件是很 困难的。 根据工件热物理特性和辅助气体的特性,激 将陶瓷材料加工成所需零件一般要经过坯料 光切割可分为汽化切割、熔化切割、反应熔化切 切割、磨削、研磨和抛光等工序,其中陶瓷坯料 割和控制断裂切割四类。其中激光汽化切割指在 的切割以往主要采用固定磨具(如金刚石锯片或 极高的激光功率密度(108W/cm2)的光束照射下, 带锯)和超声波游离磨料等机加工方法及电火花 工件表面材料在极短时间内被加热到汽化点,并 切割法,近几年来,正逐步采用以高能量密度的 以气体或为气体冲击以液态、固态微粒形态逸出, 激光作为“切割刀具”对其进行切割,即激光切 形成割缝从而实现切割。陶瓷的切割可采用汽化 割,取得了令人满意的效果。 切割。 陶瓷的某些物理特性有利于激光加工。 1.3激光切割的主要特点(1)对激光的吸收率高 即使是波长较长的CO2激光,陶瓷对其吸 (1)切割质量好 收率要比一般金属高得多。如氧化铝(AlO)陶 由于激光的光斑小、能量密度高,切割速度23 瓷的吸收率约85%,氧化锆(ZrO2)则达90%左 又快,故能获得良好的切割质量。 右,氮化硅(Si3N4)和碳化硅(SiC)陶瓷的吸 ①切缝窄,激光切割的割缝一般在0.10~ 收率也在40%以上,如果陶瓷表面较粗糙时,吸 0.20m