共聚焦拉曼光谱仪2003.ppt

◆拉曼光谱系统的组成和工作原理

◆拉曼光谱仪的操作

激光器（514.5nm）
样品台
光路系统
探测器
计算机控制部分
1.氩离子激光器；2.激光衰减器；3.物镜（凸透镜）；4.反射镜；5.全息滤光片(全息陷波滤波器)；6.光学显微镜；7.机械平台；8.半波片；9.偏振片；10.狭缝；11.等边棱镜；12.衍射光栅(反射光栅)；13.CCD检测器(紫外/可见增强型CCD)；14.尼克尔棱镜；15.衍射光栅。传统的共焦光路的设计有一个针孔,作为空间滤波器。而Renishaw使用新的共焦设计通过狭缝对焦平面的一维限制和通过对最终在CCD上的读取信号时对另一维度的信号的限制,同样达到选择样品上相应的小体积的信号。其共焦效果:完全可以达到横向小于1μm,深度分辨率约2μm的空间分辨率。并且由于这样的光路比针孔式(pinhole)共焦光路中少两透镜一个针孔,信号损失减少。

因为拉曼信号收集的主要困难在于与激光同频率的瑞利散射比拉曼散射要强10个数量级以上,而拉曼峰又离激光很近。这种窄带的陷波滤光片(Notch)的特点是,能针对性地将以激光波长为中心的几个纳米的波长范围内的瑞利散射光能量有效地滤除达5到6个数量级之多,而让该波长范围之外的光信号顺利通过校准硅片首先采用自然光并调节样品台聚焦，直到视野中看到清晰的正八边形为止。改用激光测量硅片的拉曼信号，拟合并查看峰位是否为520±0.02cm-1,如不是则用软件调节校准直到测量信号在520±0.02cm-1。
测量重复上述聚焦步骤并设置相应参数开始测量样品。共聚焦拉曼光谱仪的特点: