分子束外延.ppt
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(三)分子束外延分子束外延装置图分子束外延装置主要由工作室、分子束喷射炉和各种监控仪器组成。特点:其突出的优点是能生长极薄的单晶膜层,且能够精确控制膜厚、组分和掺杂,适合于制作微波、光电和多层结构器件。分子束外延制膜是将原子一个一个地直接沉积在衬底上实现外延生成的。分子束外延虽然也是一个蒸发过程,但它并不以蒸发温度为控制参数,而以系统中的四极质谱仪、原子吸收光谱等现代仪器精密地监控分子束的种类和强度,从而严格控制生长过程与生长速率。分子束外延是一个超高真空的物理淀积过程,利用快门可对生长和中断进行瞬时控制
分子束外延技术简介.pptx
分子束外延技术简介声明:本文件中引用的来自书籍、刊物及网页中的图片的一切权利归各自的权利人所有。什么是分子束外延真空技术介绍分子束外延设备分子束外延工艺什么是分子束外延外延生长技术在半导体领域得到应用是在20世纪60年代。它指的是在一定条件下,使某种或某些种物质的原子(或分子)有规则排列、定向生长在经过仔细加工的晶体(一般称为衬底)表面上。它生长的材料是一种与衬底晶格结构有一定对应关系的单晶层。这个单晶层称为外延层,而把生长外延层的过程叫做外延生长。分子束外延(MBE)是外延生长技术中非常重要的一种。它
集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉.pdf
本发明涉及外延生长技术领域,具体公开了一种集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉,其中,制作方法包括步骤:S1、准备石墨材质的芯轴组件;S2、在芯轴组件外周外延沉积生成第一热解氮化硼层;S3、在第一热解氮化硼层外周折弯缠绕加热丝,使加热丝紧贴固定在第一热解氮化硼层表面;S4、在第一热解氮化硼层外周外延沉积生成第二热解氮化硼层,第二热解氮化硼层完全覆盖加热丝;S5、氧化消除芯轴组件;该制作方法在无需增加额外工艺手段的前提下能制作出结构简单、制作成本低、制作效率高、热效率高、热场分布均匀且保温效果
一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备.pdf
本发明公开了一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备,包括腔室,源炉,第一快门和第二快门;源炉的炉口朝向腔室内设置,第一快门和第二快门向腔室内延伸,且第一快门和第二快门至少部分露出于腔室外壁;通过在腔室外操作第一快门,可将第一快门调整至完全遮挡源炉的蒸发路径的第一位置或者完全离开蒸发路径的第二位置;通过在腔室外操作第二快门,可将第二快门调整至覆盖源炉3炉口正上方的第三位置或者靠近源炉3炉口加热器的第四位置。根据本公开的双快门源炉系统能够保护源炉内的源料不受材料碎片污染、优化外延薄膜质量、同时有效提升蒸
(完整word版)分子束外延.doc
分子束外延(英文名称;MolecularBeamEpitaxy)定义:分子束外延是一种新的晶体生长技术,简记为MBE。其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中(也在腔体内)。由分别加热到相应温度形成蒸汽,经小孔准直后形成分子束或原子束直接喷射到上述衬底上,同时控制分子束对衬底的扫描,就可以生长出极薄的(可薄至单原子层水平)单晶体和几种物质交替的超晶格结构。研究对象:分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。MBE的一般结构:目前最典型