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卢瑟福背散射分析RutherfordBackscatteringSpectrometry(RBS)2.1背散射研究的发展史2.2卢瑟福背散射分析的原理2.3最佳实验条件的选取2.4实验设备2.4实验设备2.5背散射能谱和产额2.6RBS技术的应用结束2.2.1运动学因子—质量分析2.2.1运动学因子—质量分析2.2.1运动学因子—质量分析2.2.2背散射微分截面—含量分析2.2.2背散射微分截面—含量分析2.2.2背散射微分截面—含量分析2.2.3能损因子—深度分析2.2.3能损因子—深度分析2.2.3能损因子—深度分析表面能近似表面能近似数值积分法质量分辨含量分辨深度分辨单元素薄靶多元素薄靶单元素厚靶单元素厚靶单元素厚靶