Phoeni(德国)XL300氦质谱检漏仪.doc

Phoeni(德国)XL300氦质谱检漏仪
适用范围：
1、元部件气密性检测
2、科学研究
3、真空炉、镀摸设备等装置或系统生产和维护时气密性检测
4、分析仪器
5、高真空和超高真空的工程
6、半导体晶圆制造
7、发电厂及变压器检漏
8、电子显微镜
9、汽车空调、汽车发动机
10、真空冶炼
性能特点：
1、卓越的人性化设计，带给您简单快捷的操作。
2、结构紧凑，体积小巧，重量轻，便于移动。
3、超高灵敏度（5×10-12mbar.I/S）让您检到更小的漏孔。
4、彩色LCD液晶使用寿命更长，显示更加清楚明晰。
5、机械部分与电路完全分开，避免了温度、电磁场等的彼此干扰，使仪器运行更加定可靠。
6、每台检漏仪配有两只长寿命灯丝（离子源3年质保期），让用户可以更加放心的长久使用。
7、新型的复合式带分流口的分子泵提高了对氦的抽气速度，缩短了清除氦本底时间，有效防止氦污染。
8、选配莱宝独特的吸枪，让用户在吸氦模式检漏中不放过任何一个可疑陋点。
9、在15mbar的高压强下就可以开始检漏，为用户检大漏供了可能。
10、质谱室采用180度扇形偏转磁场，其功能的稳定可靠已在众多类型的检漏仪中得到验证。
11、PhoeniXL300Dry是最新型的干式检漏仪，它不会给用户带来任何的油污染，适用于超净间及其他无油真空。
12、按下一个按键即可快速清除任何现存的氦本底信号（自动抑零功能）
13、带内置标准漏孔，可随时对仪器进行自动校准。
14、选配手持遥控单元，可有效的进行长距离遥控检测。
15、可检漏率跨11个量程。
16、可选择质量数为2、3、4的气体作为示踪气体
17、用户通过操作面扳上的按键可以自行选配使用sps插口。
技术参数：
单位PhoeniXL300最小可检氦漏率（真空模式）Mbar.I/S<5×10-12最小可检漏率（吸枪模式）Mbar.I/S<1×10-7最大可检氦漏率（真空模式）Mbar.I/S>0.1抽气口允许最大压强Mbar15分流方式下抽气口允许最大压强Mbar1000设计名义抽速M*m*m2.5(50Hz)3(60Hz)对氦的抽速I/S>2.5带D16B泵时的分流抽速I/S16（50Hz）带D25B泵时的分流抽速I/S25（50Hz）氦信号的反应时间S<1检漏仪启动时间Min<2可检质量数Amu4:3:2继电器输出4SPS输入6手持遥控连接线长度m4(最长32)功耗VA420尺寸mm495×456×314重量kg40