蓝宝石衬底上增透膜.doc
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增透膜蓝宝石衬底上增透膜氧化硅(SiO2)膜具有熔点高、抗磨耐腐蚀、保护能力强、对光的散射吸收小等优良性能,使得SiO2非常适合用作提高蓝宝石高温强度及增透保护薄膜。利用射频磁控反应溅射法制备出所设计的增透膜系。结果表明,蓝宝石衬底上镀单层及多层增透膜系后红外透过率明显提高;当蓝宝石衬底双面镀SiO2膜后,在3~5um波段范围内,平均透过率达到96.43%,比未镀膜时的平均透过率87.01%提高了9.42%,满足了设计使用要求。高反膜制备出高性能的193nm激光高反膜具有重要的应用价值。在对不同材料组合高
废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底.pdf
本发明公开了一种废弃蓝宝石衬底的再生方法,其包括:将废弃蓝宝石衬底采用第一溶液清洗;在1100~1400℃下进行热处理;再用第一溶液清洗,最后用氧化性溶液清洗,即得到再生蓝宝石衬底。其中,热处理过程中维持混合气体气氛,所述混合气体为氢气、氮气、氯气或氯化氢中的至少两种的混合物;第一溶液选用碱溶液,或所述第一溶液选用磷酸和/或硫酸;氧化性溶液选用硫酸、硝酸、双氧水中的一种或多种的混合物。相应的,本发明还公开了一种蓝宝石衬底,其采用上述再生方法再生得到。实施本发明,可解决大尺寸废弃蓝宝石衬底的再生问题,同时本
蓝宝石衬底.doc
蓝宝石衬底展开对于制作HYPERLINK"http://baike.baidu.com/view/1109540.htm"\t"_blank"LED芯片来说,HYPERLINK"http://baike.baidu.com/view/1048511.htm"\t"_blank"衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪HYPERLINK"http://baike.baidu.com/albums/3037089/3037089/0/0.html"\l"0$37
蓝宝石衬底详细介绍.ppt
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LED用蓝宝石衬底介绍.ppt
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