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干膜制程教育训练.ppt

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前處理壓膜4.預熱基材: 壓膜前若能將板子加熱,提升銅箔與乾膜介面溫度 (只能稍微減少氣泡生成)可使得鄰近銅箔的乾膜更 易流動而填塞其表面缺陷 5.膜厚關係: 較厚的膜填塞表面凹陷有較好幫助,但成本提高(解 析度有較差之慮)速度亦須較慢產能減少曝光法線a顯影去膜