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人体静电放电的危害及防止措施 随着工业生产的不断发展,特别是高分子材料工业,石油化学工业、化纤工业、电子工业、爆破器材工业及航空航天工业的不断发展,静电的危害,显得越来越突出,在众多的静电灾害中,人体静电放电引起的灾害占有相当的比重。因此,必须加强以对人体静电、放电规律的研究。 1.人体静电放电的危害人体静电放电引起的危害主要有以下三个方面。 1.1ESD引起元器件损坏由ESD引起的元器件的击穿损害是电子工业,特别是电子产品制造业中最普遍、最严重的静电危害。在电子产品的生产中,从元器件的预处理、插装、焊接、清洗、单板测试、总装、调试,直到包装、贮存、发送等工序,由于接触_分离、摩擦、感应等作用,都会使操作人员、工具、工作台面、元器件、元器件包装容器等产生静电,同时可随时对器件造成ESD损害,使这些器件内部的电路击穿成为废品。其中IC、MOS管等对静电非常敏感的元器件更要注重静电防护。 另一方面,随着技术的进步,目前IC技术发展的趋势按每代芯片面积增大1.5倍,单元面积缩小1/3的规律,到2003年时将生产出1GB的DRAM,其特征尺寸为0.15~0.1μm,单元面积为0.3~0.2μm2,届时对静电更加敏感。 ESD对元器件的损害后果导致其硬击穿或软击穿。所谓硬击穿是一次性造成芯片介质击穿、烧毁等永久性失效;软击穿则是造成器件的性能劣化或参数指标下降而成为隐患,在使用时,由于器件参数变化很可能使整机运行不正常,或运行一段时间后不能工作。因此软击穿比硬击穿带来的危害更大。 如:某公司共进行了18700只MOS电路的老化试验,发现失效率很高,经分析和研究认为大部分失效是由ESD引起。于是该公司为此问题专门写了一份有改正措施的报告,并对全体有人员进行了防静电放电损伤的技术培训。器件采用防ESD包装,加强了各项防ESD损伤的措施,后来又老练了18400只同种器件,拒收率降低到原来的1/3。 1.2引起人体电击当带静电人体接近接地体或人体接近带静电物体时,会发生静电放电,放电电流流过人体,使人体产生电击。 静电放电对人体的电击通常不会形成持续性的电流,而是瞬间的脉冲电流,只在人体的极少部位流过。所以,静电电击一般不会引起痉挛抽搐和心肌颤动等生理障碍。但是,当遭到电击时,手和身体的某些部分会由于这突然刺激而不自觉地抖动、摇摆,从而引起二次伤害。比如,身体失去平衡摔倒、坠落等。此外,人在经常电击的工作备件下工作,由于精神紧张,就会发生操作错误。 就人体感知电击的极限电位与人体的静电电容有关。一般情况下,人体静电容约为100~200PF之间,电击咸知的极限电位约为1500~2500V。当人体电压升到3000V以上时,人体就会感觉到电击产生的疼痛,到5000V以上时,能看到放电时指尖发生的光。 1.3妨碍生产引起火灾爆炸人体静电放电的电大危害,就是在易燃易爆场所由静电火花引起火灾爆炸,静电火花是带电人体发生火花放电时产生的。当人体静电的电场超过周围介质(一般是空气)的击穿场强时,就会将介质击穿,同时发出火花和声响,这就是火花放电。在各种静电形式中,火花放电的能量最大。人体静电能量可按下式计策: W=1/2CV2 式中,C为人体对地电容,V为人体对地电压。当火花放电的能量W超过周围易燃易爆物质的最小引燃能量时,就会引起火灾爆炸。 比如,甲烷、丙烷等碳氢化合物形成的可燃性混合气体的最小点火能约为0.2MJ,氢和乙炔约为0.019MJ。当人体电容为100PF时,对于最小点燃能为0.2MJ的碳氢化合物,在人体电位达到2000V时,就有着火的危险。对于氢和乙炔,人体电位大于620V就是危险区域。有时在绝缘性高的地板上行走,静电电容可能高达500~1000PF。这时,人体带电的允许极限将更小。 1986年吉林市某厂的一个反应釜发生爆炸,经分析就是人体静电放电引爆所致。当时工人们身穿容易起电的化纤衣服,在绝缘的橡胶板地面上快速走动,人体积累了较多静电,当一工人把抱料的双手伸向反应釜的投料口时,在手指与罐口之间发生火花放电,引燃了乙醇蒸气和醋酸蒸气,顿时喷出一团火花,反应釜发生爆炸。 由上所述,人体静电的危害不仅是日常生活中用塑料梳子梳头时,听到的放电声,夜间脱化纤衣服时看到火花,而是由这些放电引起的一系列重大危害,它往往造成人员伤亡和财产损失。 2.人体静电的产生及其规律人体静电的产生方式,主要有接触起电,感应起电和迁移吸附起电。 接触起电是一种最普遍的起电形式。它的基本原理是物质间的电子转移,当两种物质相互接触其间距小于25Х10-8厘米时,就会发生电子转移。其中逸出功较低的物质失去电子而呈现正电位,逸出功较高的物质得到电子而呈现负电位。即在两种物质的接触面上形成“偶电层”并产生接触电位差。当该两种物质分离时,其上部分电荷回流,但仍然残留有符号相