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第２９卷第１０期半导体学报犞狅犾．２９犖狅．１０
２００８年１０月犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛犗犮狋．，２００８

犃犕狅狀狅犾犻狋犺犻犮犐狀犌犪犘／犌犪犃狊犎犅犜犘犃犳狅狉犜犇犛犆犇犕犃犎犪狀犱狊犲狋犃狆狆犾犻犮犪狋犻狅狀

犅犻犡犻犪狅犼狌狀，犣犺犪狀犵犎犪犻狔犻狀犵，犆犺犲狀犔犻狇犻犪狀犵，犪狀犱犎狌犪狀犵犙犻狀犵犺狌犪
（犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犳犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊，犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊，犅犲犻犼犻狀犵１０００２９，犆犺犻狀犪）

犃犫狊狋狉犪犮狋：犜犺犻狊狆犪狆犲狉犱犲犿狅狀狊狋狉犪狋犲狊狋犺犲犱犲狊犻犵狀犪狀犱犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犪犿狅狀狅犾犻狋犺犻犮犎犅犜狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻犳犻犲狉犳狅狉犜犇犛犆犇犕犃犮犲犾犾狌
犾犪狉狆犺狅狀犲狊狋犺犪狋犪犮犺犻犲狏犲狊犺犻犵犺犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔犪狀犱犾犻狀犲犪狉犻狋狔．犜犺犲狋狑狅狊狋犪犵犲犕犕犐犆犻狀狋犲犵狉犪狋犲狊狋犺犲犻狀狆狌狋犿犪狋犮犺犻狀犵犮犻狉犮狌犻狋狊，犻狀狋犲狉
狊狋犪犵犲犿犪狋犮犺犻狀犵犮犻狉犮狌犻狋狊，犪狀犱犪犮狋犻狏犲犫犻犪狊犮犻狉犮狌犻狋狊犻狀犪狊犻狀犵犾犲犮犺犻狆狑犻狋犺狊犻狕犲犪狊狊犿犪犾犾犪狊０９１犿犿×０９８犿犿．犜犺犲犪犿狆犾犻犳犻犲狉狅犫
狋犪犻狀狊犪狆狅狑犲狉犪犱犱犲犱犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔狅犳４３％（１５％）犪狀犱犪犵犪犻狀狅犳２８５犱犅（２４犱犅）犪狋狋犺犲犺犻犵犺犪狀犱犾狅狑狅狆犲狉犪狋犻狅狀犿狅犱犲狌狀犱犲狉狋犺犲
３４犞狊狌狆狆犾狔．犐狀犪犱犱犻狋犻狅狀，狋犺犲犪犱犼犪犮犲狀狋犮犺犪狀狀犲犾犾犲犪犽犪犵犲狆狅狑犲狉犻狊犫犲犾狅狑－４５犱犅犮／－５６犱犅犮犪狀犱－３９犱犅犮／－５０犱犅犮犪狋
１６犕犎狕／３２犕犎狕狅犳犳狊犲狋犻狀犾狅狑犪狀犱犺犻犵犺狆狅狑犲狉狅狌狋狆狌狋犿狅犱犲狊，狉犲狊狆犲犮狋犻狏犲犾狔，狑犻狋犺犙犘犛犓犿狅犱狌犾犪狋犻狅狀．犜犺犲犕犕犐犆狅犳犳犲狉狊狋犺犲
狆狅狋犲狀狋犻犪犾犳狅狉犾狅狑犮狅狊狋狆狉狅犱狌犮狋犻狅狀犱狌犲狋狅狊犿犪犾犾犮犺犻狆狊犻狕犲，狊狋犪犫犾犲狏狅犾狋犪犵犲狊狌狆狆犾狔，犪狀犱犺犻犵犺狆犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲犪狋狋犺犲狊犪犿犲狋犻犿犲．

犓犲狔狑狅狉犱狊：犜犇犛犆犇犕犃；狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻犳犻犲狉；犐狀犌犪犘／犌犪犃狊犎犅犜；犘犃犈；犃犆犘犚
犘犃犆犆：２９６０犆犈犈犃犆犆：１２２０
犆犔犆狀狌犿犫犲狉：犜犖７２２７＋５犇狅犮狌犿犲狀狋犮狅犱犲：犃犃狉狋犻犮犾犲犐犇：０２５３４１７７（２００８）１０１８６８０５

狉犪狋犻狅（犃犆犘犚）狆犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲犻狊犮狉狌犮犻犪犾犳狅狉狆狅狑犲狉犪犿
１犐狀狋狉狅犱狌犮狋犻狅狀狆犾犻犳犻犲狉狊犻狀犪犜犇犛犆犇犕犃狊狔狊狋犲犿．犕犪狀狔犵狅狅犱犿犲狋犺狅犱狊
犳狅狉狋犺犲狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻犳犻犲狉狋狅狅犫狋犪犻狀犺犻犵犺犾犻狀犲犪狉犻狋狔犺犪狏犲
［，］
犜犻犿犲犱犻狏犻狊犻狅狀狊狔狀犮犺狉狅狀狅狌狊犮狅犱犲犱犻狏犻狊犻狅狀犿狌犾狋犻狆犾犲犫犲犲狀狉犲狆狅狉狋犲犱犳狅狉犠犆犇犕犃８９．
犪犮犮犲狊狊（犜犇犛犆犇犕犃）犻狊犪３犌犿狅犫犻犾犲狋犲犾犲犮狅犿犿狌狀犻犮犪犎犅犜狊犪狉犲狊狋狉狅狀犵犮犪狀犱犻犱犪狋犲狊犳狅狉犜犇犛犆犇犕犃
狋犻狅狀狊狊狋犪狀犱犪狉犱犫犲犻狀犵狆狌狉狊狌犲犱犻狀犿犪犻狀犾犪狀犱犆犺犻狀犪．狆狅狑犲狉犱犲狏犻犮犲狊犫犲犮犪狌狊犲狅犳狋犺犲犻狉犾狅狑犱犻狊狋狅狉狋犻狅狀，犺犻犵犺
犐狀犪３犌犿狅犫犻犾犲狊狔狊狋犲犿，狆狅狑犲狉犪犱犱犲犱犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔犵犪犻狀，犺犻犵犺犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔，犪狀犱狊犻狀犵犾犲狊狌狆狆犾狔狏狅犾狋犪犵犲狅狆犲狉犪
（犘犃犈）犻狊犪狀犻犿狆狅狉狋犪狀狋狉犲狇狌犻狉犲犿犲狀狋犳狅狉狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻狋犻狅狀．犐狀狋犺犻狊狑狅狉犽，狑犲狆狉狅狆狅狊犲犪狋狑狅狊狋犪犵犲犎犅犜
犳犻犲狉狊犻狀犪犿狅犫犻犾犲狆犺狅狀犲犪狀犱犱犲狋犲狉犿犻狀犲狊狋犺犲犾犻犳犲狅犳狋犺犲犕犕犐犆狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻犳犻犲狉狑犻狋犺犪狀狅狀犮犺犻狆犪犮狋犻狏犲犫犻犪狊
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犫犪狋狋犲狉狔狋狅狊狅犿犲犲狓狋犲狀狋１．犃狊狋犺犲狅狌狋狆狌狋狆狅狑犲狉狅犳狋犺犲犮犻狉犮狌犻狋，狑犺犻犮犺狆狉狅狏犻犱犲狊狇狌犻犲狊犮犲狀狋犫犻犪狊犮狌狉狉犲狀狋狊狋犪犫犾狔
狆狅狑犲狉犪犿狆犾犻犳犻犲狉狏犪狉犻犲狊犱狔狀犪犿犻犮犪犾犾狔狋狅犪犱犪狆狋狋狅狋犺犲犪狀犱狊犿犪狉狋犾狔．犜犺犲犪犿狆犾犻犳犻犲狉犪犮犺犻犲狏犲狊犪狆狅狑犲狉犪犱犱犲犱
犱犻狊狋犪狀犮犲犫犲狋狑犲犲狀狋犺犲犺犪狀犱狊犲狋犪狀犱狋犺犲犫犪狊犲狊狋犪狋犻狅狀，犻狋犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔（犘犃犈）狅犳４３％（１５％）犪狀犱２８６犱犅（２４犱犅）
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