微波放电-zzp.ppt

交流放电按照频率划分可分为高频放电（兆赫兹以上的气体放电形式）低频放电（兆赫兹以下）。

低频放电的外观与直流放电一样，放电电流发生周期性改变。

高频放电由天线（电极）从外部获得功率，通过电磁场对电子的加速作用来产生和维持等离子体。高频放电虽与直流放电有些类似之处，但更重要的是由于放电机制不同产生了许多新的现象和特征，这些特征对等离子体化学反应来说是十分有利的，目前在实用化的非平衡等离子体工艺中，高频放电占绝对优势。E型放电中，通常基本的导电电流由位移电流和传导电流共同组成，放电由高频电场激发，传导电流并不闭合，放电比较弱。
H型放电中基本的导电电流具有闭合曲线的形式，由交变磁场感应的环形电场激发的，该放电可以调节得很强。感应耦合放电（H型放电）微波放电（E型放电）简介微波等离子体的发生方法
采用微波放电时，由微波电源发生的微波通过传输线传输到储能元件，再以某种方式与放电管耦合，通过电磁场将能量赋予当作负载的放电气体，无需在放电空间设置电极而功率却可以局部集中，因此可获得高密度等离子体。
下一张图是微波放电装置。下图则是一种微波等离子体辅助CVD反应器，利用此反应器成功地在非常低的基片温度（约100度）下沉积出质量很好的氧化硅膜。稍加修改后，也可用于其他合成化学反应。微波等离子体的应用E型放电