插片机资料.doc

名称：全自动硅片上料机
型号:YTX-SLJ2800
数量：一台
工艺
1．目的：本设备功能为将方形硅片装入到片盒中,以供下一工艺使用。
2．适用尺寸：156×156(±0.5mm)、125×125(±0.5mm)；厚度为160～280μm的方形硅片。
3．操作方式：全自动
五、设备环境要求
1．电源：220V1kW
2．洁净压缩空气：5~7kg/cm2
六、主要技术参数
1．外形尺寸：1100（L）×920（W）×1525（H）（mm）
2．装片效率：2800片/小时
3．碎片率：≤5/10000
4．工位数：双工位
5．设备兼容125×125(±0.5mm)（5英寸）、156×156(±0.5mm)（6英寸）两种规格的硅片。
七、电气控制系统
1．安全保护装置：（1）急停功能。（2）漏电断路保护装置。
2．控制面板置于台面上，PLC控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程控制、故障报警、安全保护等功能。3．存片量：设备上料位一次可放数百片硅片。
八、设备结构及原理
1．工作流程
将硅片放置于上料位，
当上料位有硅片时将两个空篮具分别放置于篮具托板上；
伺服电机带动硅片向上移动到指定位置；
电动执行器带动吸盘运动到吸片位置；
吹气分离装置开始工作；
吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上；
传送带开始工作，把硅片送入到篮具中；
两个篮中硅片均装满时，蜂鸣提示卸料并更换空篮具。
3．主要结构
上料位：可调节，能兼容两种规格的硅片；
上料位升降机构：采用伺服电机精确控制升降运动；
分片结构：气嘴分别位于硅片两侧，吹气方向可调；
吸盘：吸盘采用4个吸盘结构，吸取更稳定；
传送带:传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料制成;
篮具托盘：采用限位块限位，更容易、精确地达到精度要求；
篮具上升机构：采用高精度步阶模具控制升降运动；
导向定位：设备采用导向机构，保证硅片移动的准确性；
4．流程示意图