直流辉光放电等离子体参数的测量及分析.ppt
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直流辉光放电等离子体参数的测量及分析主要内容直流辉光放电就是将一个玻璃管密封,将气压抽至几十帕,在管子的两端加上高电压,玻璃管内气体被击穿,同时可以发现玻璃管内起辉,在不同的放电区,光强、电子温度不同。利用直流辉光放电现象原理制成的器件应用十分广泛,例如等离子显示器、等离子镀膜。直流辉光放电是等离子体的一个重要研究领域,为进一步提高它在各个领域的应用,科研工作人员在理论和实验两方面一直进行着不断的研究和工作。2直流辉光放电等离子体的产生3等离子体的诊断3.1实验装置3.2数据处理和分析3.3数据处理和分析
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辉光放电与等离子体辉光放电与等离子体辉光放电与等离子体辉光放电与等离子体1、辉光放电通常把在电场作用下气体被击穿而导电的物理现象称之为气体放电。气体放电有“辉光放电”和“弧光放电”两种形式。辉光放电又分为“正常辉光放电”与“异常辉光放电”两种,它们是磁控溅射镀膜工艺过程中产生等离子体的基本环节。辉光放电(或异常辉光放电)可以由直流或脉冲直流靶电源通过气体放电形成,也可以用交流(矩形波双极脉冲中频电源、正弦波中频与射频)靶电源通过真空市内的气体放电产生.气体放电时,充什么样的工作气体、气压的高低、电流密度的
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利用准光腔对辉光放电等离子体诊断分析引言辉光放电等离子体广泛应用于科学研究和工业生产中,其电子密度和温度等物理参数的准确测量对于等离子体体系的研究和应用至关重要。准光腔具有高精度、稳定性好、不需要内部参考气体等优点,被广泛应用于等离子体诊断领域。本文结合实验研究和理论模型,综述了利用准光腔对辉光放电等离子体进行诊断分析的方法和进展。准光腔概述准光腔是一种基于Fabry-Perot干涉原理的等离子体诊断工具。其结构如图1所示,由两块平行的反射镜构成,中间有一定间隔距离,可以将透过的光线在腔内反射,形成多程干