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万方数据 di蛆dv蝴0fMicr叫㈣ics,xidi衄UIIive瑚时,Ⅺ’蚰7l0071,Chi眦)K删rdsCMoS图像传感器研究CMoslm嘴S唧r,IheofⅡ屺futum呦d0ftIIe栅ctIlm,workirIg陈剑,杨银堂S阻sorB啪d锄merese珊hinco和互补金属氧化物场效应管cM0s(Compl∞entary1研究背景CMOS和CCD的比较Res味rcllCMoSA恼咖cIthe咖phasis叩tIle图像传感器是将光信号转换为电信号的装置。合器件ccD(char印一c伽pledDevice)图像传感器seⅡliconducm)图像传感器。随着半导体制造工艺技术不断发展,cM0s图像传感器显示子产品、视频电子邮件、汽车尾视、医疗设备、保安监控、可视通信、眼膜识剐、工业视频监控、视觉玩具等社会生活和工业生产的方方面面。特别足数码产品例如数码相机、照相手机的图像传感器可望由ccD快速转换到cM0s,市场前景广高的市场价值。成像器件概念后,固体图像传感器便得到了迅速发展,成为传感技术中的一个重要分支。20世纪的cM0s图像传感器则不断崭露头角。配合,不能与大规模集成电路制造工艺技术相兼摘要结合cMOs图像传感感器的研究背景.从5十方面对cMOs图像传巷器与ccD图像传感嚣的优缺中圈分类号1他12Ch∞Ji∞,YangYhtmgadv柏tage8舳da珊lygi8p既fomam)e—iI】flu印ci“gc叫resp蛐di“g∞Iutio鹏8地given.p雎dicd叽iB删ldeI咖学serl80m目前,应用最为广泛的图像传感器主要有电荷耦出强劲地发展势头,并且被广泛地应用到数码电阔,所以对cMOS图像传感器的研究与开发具有较作者简介:陈剑(1979一),男,硕士研究生。研究方向集成电路谩计。杨银堂(1963一),男,教授。研究方向自20世纪60年代末期,美国贝尔实验室发现电荷通过半导体势阱发生转移的现象,提出固态90年代初,CCD技术已比较成熟,得到非常广泛的应用。随着ccD应用范围的扩大,其缺点逐渐暴露出来,而采用标准的cMos工艺制造技术生产2.1驱动电压CCD阵列驱动脉冲复杂,电荷信息转移和读取输出需要有时钟驱动电路和3组不同的电源相容,而cMos经光电转换后直接产生电流(或电电子科技2007年第9期(总第216期)(西安电子科技大学微电子学院,陕西西安710071)点进行了比较,重点分析了cMOs图像传感器的蛄构、工作原理以及影响传感器性能的主要因素。并给出了相应的解决方法。最后,预测cM0s图像传感器的技术发展趋势。关键词cMOs图像传感嚣;图像传感器;电荷耦合器件ofhnage(sch00l蚰dprinciple8舯dtecllIlolo盱.image髀1180r;ilIl89e船瑚or;CCD收稿日期:2006.12-26大规模集成电路设计。20fCM0ssenso陪a糟comparednve鹕pectswitlIfacto瑙ofcMOsIm89e&In∞瑁,alldFinally,8CMOSMetal0xideccDImagein 万方数据 匿画~通Mos管帆和%,将反偏的光敏二极管的N+状态,并关断Mos管M。,导通M0s管峨和压)信号,只需要单一的工作电源,信号读取相图像传感器在采集光信号的同时就可以取出电信模拟、数字信号处理电路在单片上集成,比如A/号放大器、信号读取电路、模数转换器、图像信cM0s图像传感器的功耗较小,约50由于ccD图像传感器工艺制程复杂,且集成度等较低,所以cMOs图像传感器更胜一筹。于cMos图像传感器集成度高。各元件、电路之CMOS图像传感器的结构及工作原理传感器阵列上,而图像传感器阵列是一个二维的选取希望操作的像素,并将像素上的电信号读取出来。放大后送相关双采样cDs(Comlatedsampling)电路处理。相关双采样是高质量器件用来消除一些干扰的重要方法,其基本原理是由图一路为参考信号,通过两路信号的差分去掉相同或相关的干扰信号,这种方法可以减少KTc噪声、比口4】。此外,它还可以完成信号积分、放大、采以下进一步说明其工作原理。如图2所端电压充到高电位,注意此时M0s管Mc和MD之内,光强越大反偏的光敏二极管的漏电流越越大。反之,光强越弱反偏的光敏二极管的漏电降就越小。曝光完成后,保持MOs管M.的导通肘。,进行光敏二极管曝光后的电压读取,将sig_nal信号也就是实时信号采集出来。然后关断个参考信号。以上过程在一个采样时钟周期内完成,图3为时序示意图。对简单。2.2图像采集和处理速度CcD需要在同步时钟的控制下,以行为单位依次输出信息,不能随机读取,而这种随机读取对许多应用是不可缺少的,且速度较慢;而cMoS号,还能实时处理各单元的图像信息