SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究.pdf
qw****27
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究.pdf
As~+注入SOI的快速热退火研究.pdf
基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜的制备及性能研究的开题报告.docx
基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜的制备及性能研究的开题报告1.研究背景及意义:铁电薄膜在传感器、驱动器等领域广泛应用,但是其性能仍有待改进。其中基底电极对铁电薄膜的性能有着至关重要的影响。YBCO作为一种高温超导基底,在铁电薄膜的制备中有着优异的应用前景。本项目旨在探究基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜制备的技术路线及优化,研究其电学、磁学、结构等性质,并探究其在传感器和驱动器等领域的应用。2.研究内容及方法:本项目将采用物理气相沉积法(PVD)制备基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜。使用X射线衍射分析
掺硼a_Si_H薄膜脉冲快速光热退火_PRPTA_的研究.pdf
第44卷第3期Vol.44,No.3真空VACUUM2007年5月May.2007掺硼a-Si∶H薄膜脉冲快速光热退火(PRPTA)的研究3汪昌州,杨仕娥,赵尚丽,文书堂,卢景霄(郑州大学物理工程学院教育部材料物理重点实验室,河南郑州450052)摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a2Si∶H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA)法对其进行固相晶化。研究结果表明:掺硼a2Si∶H薄膜在550℃恒温条件下退火3h后,其结晶状况无明显变化;而通过加高温热脉冲可以
基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜的制备及性能研究的任务书.docx
基于YBCO底电极的PZT铁电薄膜的制备及性能研究的任务书一、研究背景铁电材料具有独特的压电、机械致电和傅里叶透射等性质,广泛应用于探测、换能及传感器、MEMS等领域。铁电薄膜是发展铁电器件的基础,同时,其性能直接影响器件的工作性能。因此,铁电薄膜的制备、性能及应用研究一直是热点领域之一。YBCO作为高温超导材料,在铁电薄膜制备中具有多种优点:其引线具有良好的导电性、易于处理等优点;其超导临界温度与铁电垂直极化方向相似,具有优异的铁电薄膜取向性;YBCO的晶体结构与PZT相似,有利于提高PZT薄膜的质量。