非晶硅太阳电池的衰减与退火.pdf
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非晶硅薄膜太阳电池及制造工艺[1].pdf
一种原位掺杂非晶硅的晶化退火处理方法.pdf
本发明公开了一种原位掺杂非晶硅的晶化退火处理方法,采用链式热处理炉对沉积有原位掺杂非晶硅的硅片进行晶化退火处理。本发明能省去在晶化退火处理和湿法清洗处理之间的下料和上料环节,避免在这些环节中出现碎片、不良的问题;本发明还能能减少晶化退火处理所需要的工艺时间;本发明还使用光线对硅片进行加热,由于有了光子的辅助,杂质元素更容易占据到硅材料晶格的替代位上,实现掺杂元素激活率的提高。
一种非晶硅太阳电池玻璃基底的激光钻孔方法.pdf
本发明适用于非晶硅太阳电池钻孔领域,提供一种非晶硅太阳电池玻璃基底的激光钻孔方法,将镀有膜层的玻璃基底的膜面朝上放置,然后从待钻通孔的边缘向内清除一个圆环内的膜层,然后在清除膜层的圆环内,激光从玻璃基底的下表面向上进行分层钻孔。本发明实施例将非晶硅太阳电池玻璃基底的有膜层的一面放置在加工线上,通过激光清除一个圆环内的膜层,然后采用分层方式,按照内摆线的轨迹进行钻孔,降低了设备的成本,保证了非晶硅太阳电池的流水线加工,同时避免了膜层的膜面污染。
一种非晶硅退火太阳能电池板.pdf
本发明公开了一种非晶硅退火太阳能电池板,包括基板,基板上安装有太阳能电池板,太阳能电池板呈矩阵安装在基板上,并通过连接电线连接形成电路,太阳能电池板的材质为非晶硅薄膜,非晶硅薄膜用PECVD或APCVD沉积制备,厚度为1‑50μ。退火炉中充满N2,在600℃下,高温退火10h,在硅片的上表面生长一层多晶硅薄膜完成热退火,基板的一对竖直侧壁上固定连接有滑板,滑板的一竖直侧壁上固定连接有挡板,挡板的一侧与两个滑板的同一端固定连接,两块滑板的相向侧壁上对称开设有滑动槽。本发明适用于常规丝网印刷全铝背场电池和背钝