硅基微纳光波导损耗特性的表征技术.pdf

第２９卷光学学报光学前沿———光电技术
２００９年６月犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃专刊

文章编号：０２５３２２３９（２００９）Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ１０１３４０５
硅基微纳光波导损耗特性的表征技术

陈少武徐学俊屠晓光
（中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京１０００８３）

摘要微纳光波导的基本功能是实现光波的低损耗传输，是芯片光互连的基础，其传输损耗是评价微纳光波导加
工质量和传输性能的基本指标。微纳光波导由于其尺寸比常规光波导小１～２个数量级，光耦合的难度和不确定
性都很大，造成传输损耗的测量相对困难。探讨了可用于微纳光波导传输损耗测试表征的几种方法，包括截断法、
法布里珀罗（ＦａｂｒｙＰéｒｏｔ，ＦＰ）腔谐振谱条纹对比度分析法、傅里叶（Ｆｏｕｒｉｅｒ）变换法等，对上述方法在测试精度、
适用条件方面进行了分析对比。研究表明，截断法受光纤耦合不确定性的影响测量误差较大；ＦＰ腔谐振谱条纹对
比度分析法能够消除光纤耦合不确定带来的误差，但是只能测量单一ＦＰ谐振腔的波导结构，无法测量复杂的多
腔结构；傅里叶变换法能够消除波导和光纤耦合状态的不固定带来的误差，并通过相邻峰位的比值来提取出波导
的传输损耗。
关键词集成光学；光子线波导；传输损耗测量；截断法；谐振腔分析法；傅里叶变换法
中图分类号Ｏ４３６文献标识码Ａ犱狅犻：１０．３７８８／犃犗犛２００９２９狊１．０１３４

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