《压电式传感器》.ppt

压电式传感器石英晶体的压电效应演示第一节压电传感器的工作原理压电效应：某些物质受力作用时，表面
电荷产生的现象。
这种现象是可逆的。压电元件具有自发电和可逆两种重要性能。体积小、重量轻、结构简单、工作可靠、固有频率高、灵敏度和信噪比高。压电效应Def：压电晶体压电效应压电电源、自动点火装置、测压力、
加速度、振动（力敏元件）等。压电陀螺、压电线性加速度计、压电变压器、声纳、压电声表面波器件。二、压电材料的分类及特性（一）石英晶体天然形成的石英晶体外形z压电材料压电材料压电材料纵向压电效应纵向压电效应横向压电效应横向压电效应切向压电效应切向压电效应（二）压电陶瓷多种材料烧结而成，制作方便，成
本低；
压电常数是压电晶体的数百倍，灵
敏度大；
稳定性差。压电陶瓷外形（三）高分子压电材料高分子压电薄膜及拉制高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应）PIEZOSensorPIEZOSensorPIEZOSensorea：开路电压；
q:压电晶片表面上的电荷；
Ca为压电晶片的电容。
PIEZOSensorPIEZOSensorPIEZOSensorPIEZOSensorPIEZOSensorPIEZOSensor压电式传感器输出电荷q很少，内阻Ra很大，输出信号很弱小，因此要进行处理：q≈qt+qf=ui(Ca+Cc+Ci)+(ui-uy)Cf=uiC+(ui-uy)Cf压电式加速度传感器压电式刀具切削力测量示意图BS-D2压电式玻璃破碎传感器
（a）外形;（b）内部电路