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电子能谱学电子能谱包括特征:一、基本原理紫外光电子能谱ultravioletphotoelectronspectroscopy紫外光电子谱是利用能量在16-41eV的真空紫外光子照射被测样品,测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法。忽略分子、离子的平动与转动能,紫外光激发的光电子能量满足如下公式:M+*→M++h(荧光X射线) M+*→M++e(Auger电子) 两个过程竞争; 双电离态; 三(或两)个能级参与; 标记:KLILII;LMIMII等; H、He不能发射Auger电子;X射线光电子能谱(XPS)光电离几率和电子逃逸深度电子结合能电子结合能二、X射线光电子能谱分析法X-rayphotoelectronspectroscopy1.谱峰出现规律2.谱峰的物理位移和化学位移3.电负性对化学位移的影响4.X射线光电子能谱分析法的应用特殊样品的元素分析(3)固体化合物表面分析XPS的定性分析XPS定性分析方法XPS定性分析方法XPS定性分析例:用XPS分析AlN薄膜中各组元化合状态2.典型元素的精细扫描和分峰3.典型元素的精细扫描和分峰4.典型元素的剥蚀曲线5.剥蚀后元素的宽扫描XPSXPS分析方法XPSXPS分析方法XPSXPS分析方法光电子线及伴峰XPSXPS分析方法XPS谱图元素定性分析步骤:样品的制备1.样品的大小2.离子束溅射技术3.样品的荷电及消除4.荷电的消除5.荷电的校准*****